山根　大輔　（やまね　だいすけ）
新着情報／News　
2019/12/11
【講演】MEMS振動発電技術に関して，分子ナノテクノロジー第174委員会 研究会で講演（☞詳細）しました。

2019/12/2 - 6
【国際会議】振動発電素子の研究成果を PowerMEMS2019（＠クラクフ，ポーランド）で1件（☞詳細）発表しました。

2019/11/6
【講演】MEMS振動発電技術に関して，時代を刷新する会で講演（☞詳細）しました。

2019/10/9
【受賞】電気学会より上級会員の称号を授与されました。

2019/9/20
【原著論文】MEMS応用に向けた双晶に関する共著論文が Metals（☞詳細）に採択されました。

2019/8/30
【展示会：プレゼン，デモ】振動発電素子の研究成果をイノベーション・ジャパン２０１９でプレゼン，デモ（☞詳細）しました。

2019/7/23 - 2019/8/9
【原著論文・プレスリリース】高分解能MEMS加速度センサの論文が Sensors and Materials （☞詳細）に掲載されました。
東工大ニュース など：2019年7月23日（☞詳細）
EE Times Japan など：2019年7月25日（☞詳細）
科学新聞など：2019年8月2日（☞詳細）
日経産業新聞：2019年8月9日（☞詳細）

2019/7/20
【原著論文】Au-Cu合金マイクロ構造体の共著論文（2件）が Journal of Solid State Science and TechnologyとMicroelectronic Engineering （☞詳細）に採択されました。

2019/7/11
【メディア】振動発電素子の研究成果が日経産業新聞（☞詳細）に掲載されました。

2019/7/8
【メディア】Nature ダイジェスト（☞詳細）でSDGs賞の受賞記事が掲載されました。

2019/7/5
【セミナー講演】振動発電素子に関してナノ茶論第3回セミナーで講演しました。（☞詳細）

2019/6/26
【プレスリリース】振動発電素子の研究成果を東工大とJSTの共同でプレスリリース（☞詳細）しました。

2019/5/17
【メディア】Nature創刊150周年記念シンポジウムでの研究発表と受賞の動画映像がSpringer Natureの公式YouTube （☞詳細）で公開されました。

2019/4/27
【原著論文】触覚センサの共著論文が Sensors and Actuators A: Physical （☞詳細）に採択されました。

2019/4/4
【受賞】振動発電素子の研究に関して、Nature創刊150周年記念シンポジウム「日本の科学の未来」でSDGs賞を受賞しました。（☞詳細）

2019/3/28
【招待講演】振動発電素子に関して応物 シリコンテクノロジー分科会 システムデバイスロードマップ委員会（SDRJ）　BC（Beyond CMOS/ERM（Emerging Research Materials））合同委員会で講演しました。（☞詳細）

2019/3/26
【メディア】振動発電素子の研究成果が研究者・留学生向け英文メールニュース「Tokyo Tech Bulletin No. 54」（☞詳細） に掲載されました。

2019/3/20
【国際学会】振動発電素子の研究成果が Transducers2019（＠ベルリン，ドイツ）に Late News として採択されました。（☞詳細）

2019/3/12
【国内学会】応用物理学会 春季学術講演会（＠東工大）で6件発表しました。

2019/2/4
【メディア】振動発電素子の研究成果が IEEE SPECTRUM（☞詳細） に掲載されました。

2019/1/28
【メディア】振動発電素子の研究成果が東工大ニュース，EE Times Japan など（☞詳細）に掲載されました。

2019/1/27
【プレスリリース】振動発電素子の研究成果を東工大とJSTの共同でプレスリリース（☞詳細）しました。

2019/1/27 - 31
【国際会議】IEEE-MEMS2019（＠ソウル，韓国）で2件（振動発電素子，高分解能加速度センサの研究成果 ☞詳細）発表しました。

2018/12/4 - 7
【国際会議】振動発電素子の研究成果を PowerMEMS2018（＠フロリダ，米国）で1件（☞詳細）発表しました。

所属 東京工業大学　科学技術創成研究院 未来産業技術研究所
現在の研究テーマ
  • 集積化CMOS-MEMS
  • MEMS慣性センサ
  • MEMSエナジーハーベスタ
研究略歴
  • 2017年  10月　　科学技術振興機構（JST）さきがけ研究者（兼任）
  • 2016年    4月　　東京工業大学 科学技術創成研究院 未来産業技術研究所（改組に伴い所属変更）　助教　（現職）
  • 2012年    4月　　東京工業大学 精密工学研究所 極微デバイス部門　助教
  • 2011年    6月　　米国カリフォルニア大学ロサンゼルス校（UCLA）　客員研究員（～ 2012年 3月）
  • 2011年    4月　　日本学術振興会　特別研究員（PD） （～ 2012年 3月）　
  • 2011年    3月　　東京大学大学院　工学系研究科　電気系工学専攻　博士課程修了（博士（工学））
  • 2010年    4月　　日本学術振興会　特別研究員（DC2）　（～ 2011年 3月）
  • 2008年    4月　　東京大学電気系工学専攻G-COE　研究補佐員（～ 2010年3月）
  • 2008年    3月　　東京大学大学院　工学系研究科　電気系工学専攻　修士課程修了
  • 2007年    7月　　(財)神奈川科学技術アカデミー　技術補佐員（～ 2008年3月）
  • 2006年  11月　　東京大学生産技術研究所　技術補佐員（～ 2008年3月）
  • 2006年    3月　　東京大学　工学部　電子工学科卒業
  • 2002年    4月　　東京大学　理科一類入学
学位論文
    "A Study on SOI RF-MEMS Passive Devices by Functional Layer-wise Design Method"
    　　　博士（工学）　　2011年3月



査読付き
原著論文
（40件）
  1. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, and Kazuya Masu,
    "A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing,"
    Sensors and Materials, vol. 31, no.9, pp.2883-2894,2019.
    DOI:https://doi.org/10.18494/SAM.2019.2122
  2. Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Yaw-Wang Chai, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone,
    "Nanoscale Hierarchical Structure of Twins in Nanograins Embedded with Twins and the Strengthening Effect,"
    Metals, vol. 9, no.9, pp.987-1 - 987-9, Sept. 2019.
    DOI:https://doi.org/10.3390/met9090987
  3. Keisuke Asano, Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Takashi Nagoshi, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone,
    "High Strength Electrodeposited Au-Cu Alloys Evaluated by Bending Test toward Movable Micro-Components,"
    ECS Journal of Solid State Science and Technology, vol. 8, no. 8, pp.412-415, July 2019.
    DOI:https://doi.org/10.1149/2.0151908jss
  4. Kyotaro Nitta, Tso-Fu Mark Chang, Koichiro Tachibana, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Cu-Alloying Effect on Structure Stability of Electrodeposited Gold-Based Micro-Cantilever Evaluated by Long-Term Vibration Test,"
    Microelectronic Engineering, vol. 215, pp.111001-1 - 111001-4, July 2019.
    DOI:https://doi.org/10.1016/j.mee.2019.111001
  5. Yu-Hong Gao, Yu-Hao Jen, Rongshun Chen, Daisuke Yamane, and Cheng-Yao Lo,
    "Five-fold sensitivity enhancement in a capacitive tactile sensor by reducing material and structural rigidity,"
    Sensors & Actuators: A. Physical, vol.293, 1 July 2019, pp.167-177.
    DOI:https://doi.org/10.1016/j.sna.2019.04.043
  6. Ken Hashigata, Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Strengthening of micro-cantilever by Au/Ti bi-layered structure evaluated by micro-bending test toward MEMS devices,"
    Microelectronic Engineering, vol.213, 15 May 2019, pp.13-17.
    DOI:https://doi.org/10.1016/j.mee.2019.04.008
  7. KoichiroTachibana, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Long-term structure stability of Ti/Au layered micro-cantilever evaluated by vibration test,"
    Microelectronic Engineering, vol.207, 15 Feb. 2019, pp.33-36.
    DOI:https://doi.org/10.1016/j.mee.2019.01.002
  8. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nasgoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Promoted bending strength in micro-cantilevers composed of nanograined gold toward MEMS applications,"
    Microelectronic Engineering, vol. 195, 2018, pp. 20-24. (Available online 30 April 2018)
    DOI:https://doi.org/10.1016/j.mee.2018.04.021
  9. Hao-Chun Tang, Ken Hashigata, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane,Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    "Sample size effect on micro-mechanical properties of gold electroplated with dense carbon dioxide,"
    Elsevier Surface and Coatings Technology, vol. 350, 2018, pp. 1065-1070. (Available online 12 February 2018)
    DOI:https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.02.041
  10. Motohiro Takayasu, Ippei Tsuji, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    "Microgravity Generation Using Tilting Board for Resolution Evaluation of MEMS Accelerometer,"
    Sensors and Materials, vol. 30, no. 12, 2018, pp.2919-2926.
    DOI:https://doi.org/10.18494/SAM.2018.1840
  11. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    "Au-Cu Alloys Prepared by Pulse Electrodeposition toward Applications as Movable Micro-Components in Electronic Devices,"
    Journal of The Electrochemical Society, vol. 165, 2018, pp.D58-D63.
    DOI: 10.1149/2.0441802jes
  12. Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu
    "A 0.18-μm CMOS Time-Domain Capacitive-Sensor Interface for Sub-1mG MEMS Accelerometers,"
    IEICE Electronics Express (ELEX), vol. 15, no. 2, 2018, pp.20171227.
    DOI:https://doi.org/10.1587/elex.15.20171227
  13. Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone
    "Enhancement in Structure Stability of Gold Micro-Cantilever by Constraints at the Fixed-End for Applications as Movable Structures of MEMS,"
    Microelectronics Engineering, vol. 187-188, 2018, pp.105-109.
    DOI: https://doi.org/10.1016/j.mee.2017.11.015
  14. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Deformation behavior of electroplated gold composed of nano-columnar grains embedded in micro-columnar textures,"
    Materials Letters, Vol. 202, Sep. 2017, pp. 82-85.
    DOI: https://doi.org/10.1016/j.matlet.2017.05.066
  15. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Takashi Nasgoshi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Micro-Bending Testing of Electrodeposited Gold for Applications as Movable Components in MEMS Devices,"
    Microelectronics Engineering, vol. 180, Aug. 2017, pp.15-19.
    DOI: https://doi.org/10.1016/j.mee.2017.05.044
  16. Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone,
    "Tensile Tests of Micro-Specimens Made of Electroplated Gold,"
    Microelectronics Engineering, vol. 174, April 2017, pp. 6-10.
    DOI: https://doi.org/10.1016/j.mee.2016.12.004
  17. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "High-Strength Electroplated Au-Cu Alloys as Micro-components in MEMS Devices,"
    Journal of The Electrochemical Society, vol. 164, issue 4, Feb. 2017, pp. D244-D247.
    DOI: 10.1149/2.141704jes
  18. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu and Katsuyuki Machida,
    "Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer,"
    Microelectronics Reliability, vol. 66, November 2016, pp. 78-84.
    DOI: 10.1016/j.microrel.2016.09.018
  19. Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Enhancement of Mechanical Strength in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide,"
    Electrochemistry Communications, vol. 72, November 2016, pp. 126-130.
    DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.elecom.2016.09.019
  20. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Brittle Fracture of Electrodeposited Gold Observed by Micro-Compression,"
    Materials Transactions, Vol. 57, No. 8, 2016, pp. 1257-1260.
    DOI: http://doi.org/10.2320/matertrans.MG201612
  21. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Compressive Strength,"
    Electrochemistry Communications, Vol.67, 2016, pp. 51-54.
    DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.elecom.2016.03.017
  22. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A 1-mG MEMS Sensor,"
    ECS Transactions, vol. 72, issue 3, 2016, pp. 7-14.
    DOI: 10.1149/07203.0007ecst
  23. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone
    "Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers,"
    Microelectronics Engineering, vol. 159, 2016, pp.90-93.
    DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2016.02.054
  24. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor,"
    Japanese Journal of Applied Physics, vol. 54, no. 8, 2015, pp. 087202.1-087202.4.
    DOI: 10.7567/JJAP.54.087202
  25. Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass,"
    Microsystem Technologies, vol. 22, 2016, pp. 459-464.
    (online version: published on April 26, 2015)
    DOI: 10.1007/s00542-015-2539-y
  26. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G MEMS Sensor,"
    ECS Transactions, vol. 66, issue 5, 2015, pp.131-138.
    DOI: 10.1149/06605.0131ecst
  27. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 亀井 将太, 益 一哉, 町田 克之
    「高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法」
    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, vol.135, no.4, pp.142-143, April 2015.
    DOI: http://dx.doi.org/10.1541/ieejsmas.135.142
  28. Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Kazuya Masu,
    "Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications,"
    ECS Transactions, vol. 61, issue 6, 2014, pp.21-39.
    DOI: 10.1149/06106.0021ecst
  29. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A capacitive CMOS-MEMS sensor designed by multi-physics simulation for integrated CMOS-MEMS technology,"
    Japanese Journal of Applied Physics, vol. 53, 2014, pp. 04EE15.1-7.
    (Special issue on SSDM 2013)
    DOI: 10.7567/JJAP.53.04EE15
  30. Motohiro Takayasu, Atsushi Shirane, Sangyeop Lee, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Xiaoyu Mi, Hiroaki Inoue, Fumihiko Nakazawa, Satoshi Ueda, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu,
    "An 8 channel, 20 V output CMOS switching driver with 3.3 V power supply using triple-well biasing techniques for integrated MEMS device control,"
    Japanese Journal of Applied Physics, vol. 53, 2014, pp. 04EE13.1-8.
    (Special issue on SSDM 2013)
    DOI: 10.7567/JJAP.53.04EE13
  31. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi and Kazuya Masu,
    "Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers,"
    Applied Physics Letters, Vol. 104, Issue 7, 074102, Feb. 2014.
    DOI: 10.1063/1.4865377
  32. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "An arrayed accelerometer device of a wide range of detection for integrated CMOS-MEMS technology,"
    Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 53, 027202, pp. 027202-1 - 027202-9, 2014.
    DOI: 10.7567/JJAP.53.027202
  33. 山根 大輔, サン　ウィンストン, 川崎　繁男, 藤田　博之, 年吉　洋
    「水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法」
    電子情報通信学会論文誌C(エレクトロニクスソサエティ), Vol. J97-C, No. 1, pp.37-45, Jan. 2014.
  34. Daisuke Yamane, Yi-Chien Wu, Ting-Hsiang Wu, Hiroshi Toshiyoshi, Michael Teitell, and Pei-Yu Chiou,
    "Electrical impedance monitoring of photothermal porated mammalian cells,"
    Journal of Laboratory Automation, vol. 19, no. 1, pp.50-59, Feb. 2014.
    (online version: published on June 24, 2013)
    DOI: 10.1177/2211068213494390
  35. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara,　Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Novel Sensor Structure and its Evaluation for Integratd Complementary Metal Oxide Semiconductor Microelectromechanical Systems Accelerometer,"
    Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 52, No. 6, pp. 06GL04, June 2013.
    (Special issue on MNC 2012)
    DOI: 10.7567/JJAP.52.06GL04
  36. 山根 大輔, サン　ウィンストン, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用」
    電子情報通信学会論文誌C（エレクトロニクスソサエティ), Vol. J95-C, No. 10, pp. 219-227, Oct. 2012.
  37. Daisuke Yamane, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and　Hiroshi Toshiyoshi,
    "A Ku-band Dual-SPDT RF-MEMS Switch by Double-Side SOI Bulk Micromachining,"
    IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, vol.20, no.5, pp.1211-1221, Oct. 2011.
    DOI: 10.1109/JMEMS.2011.2162490
  38. 山根 大輔, 李 宥憲, 藤田 博之, 年吉 洋
    「メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作」
    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, vol.131, no.3, pp.130-131, March 2011.
  39. Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A 12GHz bulk-micromachined RF-MEMS phase shifter by SOI layer-separation design,"
    IEICE Electronics Express, vol.7, no.24, pp.1785-1789, Dec. 2010.
  40. Daisuke Yamane, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "An SOI bulk-micromachined dual SPDT RF-MEMS switch by layer-wise separation design of waveguide and switching mechanism,"
    IEICE Electronics Express, vol.7, no.2, pp.80-85, Jan. 2010.



国際会議
論文
（156件，うち招待23件）
  1. Tso-Fu Mark Chang, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Electrodeposition of Au-Cu Alloys and the Micro-Mechanical Properties,"
    237th ECS Meeting with the 18th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2020), May 10-14, 2020, Montr?al, Canada. (Accepted, Oral)
  2. Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing,"
    The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020), March 23-26, 2020, Hiroshima, Japan. (Accepted, LateNews)
  3. Yukiya Tohyama, Hiroaki Honma, Noboru Ishihara, Hidehiko Sekiya, Hiroshi Toshiyoshi, and Daisuke Yamane,
    "Energy Harvesting from Non-Stational Environmental Vibrations using a Voltage-Boost Rectifier Circuit,"
    The 19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (Power MEMS 2019), December 2-6, 2019, Krakow, Poland. (LateNews Poster)
  4. Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Au-TiO2 Composite Film,"
    in Proc. MRS Fall Meeting 2019, Boston, Massachusetts, U.S., Dec. 1-6, 2019. (Poster)
  5. Kyotaro Nitta, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Electrodepostion of Au-Cu Alloy Micro-Cantilevers and the Young’s modulus by Resonance Frequency Method,"
    in Proc. MRS Fall Meeting 2019, Boston, Massachusetts, U.S., Dec. 1-6, 2019. (Poster)
  6. Tomoki Iriya, Kyotaro Nitta, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Electroplating of Au-Pd Alloy Films and the Mechanical Properties,"
    in Proc. International Thin Films Conference (TACT 2019), Taipei, Taiwan, Nov. 17-20, 2019. (Poster)
  7. Cheng-Yao Lo and Daisuke Yamane
    "High-Sensitivity Capacitive Tactile Sensor with Vertically Stacked Hollow Structures,"
    in Proc. The 4th International Symposium on Biomedical Engineering, Act City Congress Center, Hamamatsu, Japan, November 14-15, 2019. (Poster)
  8. Atsushi Fujii, Kento Hisa, Musashi Kakugawa, Daisuke Yamane, Takayuki Shibata and Moeto Nagai
    "High-throughput Screening Device for Genes Related to Algal Phototaxis: Parallel Micro-Liquid Handling,"
    in Proc. The 4th International Symposium on Biomedical Engineering, Act City Congress Center, Hamamatsu, Japan, November 14-15, 2019. (Poster)
  9. Yu-Hao Jen, Chia-Tso Mo, Kean Aw, Daisuke Yamane, Cheng-Yao Lo,
    "Extensive Sensitivity Enhancement in Stacked Capacitive Tactile Sensors,"
    in Proc. IEEE Sensors 2019, Montreal, Canada, Oct. 27-30, 2019. (Poster)
  10. Kyotaro Nitta, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Fabrication of Au-Cu Alloy/Ti Layered Micro-Cantilevers and the Long-Term Structure Stability,"
    in Proc. IEEE Sensors 2019, Montreal, Canada, Oct. 27-30, 2019. (Poster)
  11. Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Naoto Tanaka, Taiki Ogata, Hiroki Ora, Daisuke Yamane, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu,
    "High-Sensitivity Inertial Sensor Module to Measure Hidden Micro Muscular Sounds,"
    in Proc. IEEE Biomedical Circuits and Systems Conference 2019 (BioCAS2019), Nara, Japan, Oct. 17-19, 2019. (Poster)
  12. 【Invited】
    Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Shin-ichi Iida, Noboru Ishihara, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroyuki Ito and Kazuya Masu,
    "MEMS Accelerometer Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. 236th ECS Meeting, Atlanta, GA, Oct. 13-17, 2019.
  13. Kosuke Suzuki, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Sample Geometry Effect on Mechanical Property of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Bending Test,"
    in Proc. 45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019), Rhodes, Greece, Sept. 23-26, 2019. (Poster)
  14. Kyotaro Nitta, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Fabrication and Evaluation of Au-Cu Alloy 3D Structures toward MEMS Movable Components,"
    in Proc. 45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019), Rhodes, Greece, Sept. 23-26, 2019. (Poster)
  15. Hitomi Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Effects of Fixed End Structure on Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever toward MEMS Applications,"
    in Proc. 45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019), Rhodes, Greece, Sept. 23-26, 2019. (Poster)
  16. Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Electrodeposition of TiO2 Nanoparticle Reinforced High Strength Au Film for MEMS Applications,"
    in Proc. 45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019), Rhodes, Greece, Sept. 23-26, 2019. (Poster)
  17. Yukiya Tohyama, Hiroaki Honma, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, and Daisuke Yamane,
    "Bandwidth Enhancement of Vibrational Energy Harvesters by a Voltage-Boost Rectifier Circuit,"
    in Proc. 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII), 23-27 June 2019, Estrel Berlin Hotel&Congress Center, Berlin, Germany (Late news, Poster)
  18. Kosuke Suzuki, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Mechanical properties of gold micro-cantilevers with different thickness evaluated by micro-bending test,"
    in Proc. The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019), Kiev, Ukraine, May 27-30, 2019. (Poster)
  19. Hitomi Watanabe, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "High Structure Stability Ti/Au Multiple Layer Micro-Cantilever and the Temperature Dependence,"
    in Proc. The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019), Kiev, Ukraine, May 27-30, 2019. (Poster)
  20. Masato Sone, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    "Mechanical properties of electrodeposited gold-copper alloy by micro-compression test,"
    in Proc. The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019), Kiev, Ukraine, May 27-30, 2019. (Poster)
  21. Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    "Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers,"
    in Proc. Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019), 12-15 May 2019, Paris, France, pp.121-124. (Oral)
  22. Daisuke Yamane, Shota Otobe, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS,"
    in Proc. 32nd IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), Seoul, Korea, Jan. 27-31, 2019, pp. 684-687. (Poster)
  23. Daisuke Yamane, Hiroaki Honma, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A MEMS VIBRATORY ENERGY HARVESTER CHARGED BY AN OFF-CHIP ELECTRET,"
    in Proc. 32nd IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), Seoul, Korea, Jan. 27-31, 2019, pp. 1025-1028. (Poster)
  24. Yukiya Tohyama, Hiroaki Honma, Noboru Ishihara, Hidehiko Sekiya, Hiroshi Toshiyoshi, and Daisuke Yamane,
    "A Voltage-Boost Rectifier Circuit for Energy Harvesting from Environmental Vibrations,"
    in Proc. 18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018), December 4-7, 2018, Daytona Beach, FL, USA, PT-11d. (Poster)
  25. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito and Kazuya Masu,
    "Sub-1mG MEMS Inertial Sensor for Biomedical Applications,"
    in Proc. The 20th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium joined with the 4th International Conference on Nano Electronics Research and Education（ICNERE2018）, Research Institute of Electronics, Shizuoka University, Japan, Nov. 27-29, 2018.
  26. Shota Otobe, Tatsuya Koga, Ken Atsumi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Hiroyuki. Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida and Kazuya Masu,
    "A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes,"
    in Proc. 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), November 13-16, 2018, Sapporo Park Hotel, Sapporo, Japan, 15P-7-121L (Poster)
  27. Cheng-Yao Lo and Daisuke Yamane
    "Vibration Characteristics of a High-Sensitivity Flexible Capacitive Tactile Sensor with Reduced Structural Rigidity,"
    in Proc. The 3rd International Symposium on Biomedical Engineering, Satake Memorial Hall, Hiroshima University, Hiroshima, Japan, November 8-9, 2018. (Poster)
  28. Musashi Kakugawa, Kento Hisa, Daisuke Yamane, Takayuki Shibata and Moeto Nagai
    "Parallel Manipulation of Small-volume Solutions for Analyzing Phototaxis and Gene Expression of Algae,"
    in Proc. The 3rd International Symposium on Biomedical Engineering, Satake Memorial Hall, Hiroshima University, Hiroshima, Japan, November 8-9, 2018. (Poster)
  29. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Mechanical Characterization of Constant Current Electroplated Au-Cu Alloy Micro-Cantilever,"
    in Proc. IUMRS-ICA (19th International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia), Bali, Indonesia, Oct. 31 - Nov. 2, 2018. (Poster)
  30. Ken Hashigata, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Electrodeposition of Gold on Titanium and Bending Test of Au-Ti Bi-Layered Micro-Cantilever,"
    in Proc. IUMRS-ICA (19th International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia), Bali, Indonesia, Oct. 31 - Nov. 2, 2018. (Poster)
  31. Hitomi Watanabe, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Effects of Ti/Au Layered Structure on Temperature Dependence of Micro-Cantilever Structure Stability,"
    in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept. 24-27, 2018. (Poster)
  32. Takahiro Yamamoto, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Mechanical Property and Thermal Stability of Electrodeposited Au-Cu Alloys for Reliability of MEMS Devices,"
    in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept. 24-27, 2018. (Poster)
  33. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Young’s Modulus of Ti/Au Micro-Cantilever by Resonance Frequency Method toward Au-Based MEMS Device,"
    in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept. 24-27, 2018. (Poster)
  34. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "High Strength Electrodeposited Gold-Copper Alloys for MEMS Devices,"
    in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept. 24-27, 2018. (Poster)
  35. Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Mechanical Strength Enhancement of Ti/Au Layered Structure Evaluated by Micro-Bending Test,"
    in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept. 24-27, 2018. (Poster)
  36. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Electrodeposited Au-Cu Alloy with High Yield Stress Evaluated by Micro-Bending Test,"
    in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept. 24-27, 2018. (Poster)
  37. Kyotaro Nitta, Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Cu-Alloying Effect on Structure Stability of Au Micro-Cantilever,"
    in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept. 24-27, 2018. (Poster)
  38. Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Kyotaro Nitta, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Reliability Characteristics of Ti/Au Micro-Cantilever by Long-Term Vibration Test,"
    in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept. 24-27, 2018. (Poster)
  39. Tso-Fu Mark Chang, Hao-Chun Tang, Kyotaro Nitta, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone,
    "Electrodeposition of High Strength Au-Cu Alloys for MEMS Devices,"
    in Proc. 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018), The University of Tokyo, Tokyo, Japan, Sept. 9-13, 2018. (Oral)
  40. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, and Kazuya Masu, "High-Resolution MEMS Accelerometer by Multi-Layer Metal Technology,"
    Taiwan-Japan-US Joint Workshop on Energy Materials and Sustainable Development, September 3-4, 2018, National Chiao Tung University (NCTU), Hsinchu, Taiwan.
  41. 【Invited】
    Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone and Yoshihiro Miyake,
    "CMOS-MEMS accelerometer with gold proof-mass and its application in diagnosis of Parkinsons Disease,"
    4th International Conference on Condensed Matter and Materials Physics, August 16-17, 2018, London, UK.
  42. Ken Hashigata, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "The effect of acid pre-treatment on electroplating of gold on titanium substrate,"
    in Proc. 32nd International Conference on Surface Modification Technologies (SMT32), June 27-29, 2018, Gipuzkoa Science and Technology Park, San Sebastian, Spain. (Oral)
  43. Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida and Kazuya Masu
    "Tri-Axis Fully-Differential MEMS Accelerometer with Segmented Capacitance Detection,"
    in Proc. Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 (APCOT 2018), June 24-27, 2018, HKUST, Hong Kong SAR (Oral)
  44. 【Invited】
    Masato Sone, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Characteristics of Electroplated Gold Material with Multilayer Metal Technology for CMOS-MEMS Accelerometer,"
    Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan. (Poster + 2 min Presentation)
  45. Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Kyotaro Nitta, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever Evaluated by Long-Term Vibration Test,"
    Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan. (Poster + 2 min Presentation)
  46. Chun-Yi Chen, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Ultra-high Strength in Electroplated Nanocrystalline Au-Cu Alloys Evaluated by Micro-Compression Tests for MEMS Devices,"
    Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan. (Poster + 2 min Presentation)
  47. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "A Study on Effective Young's Modulus of Micro-Cantilevers Fabricated by Au Electroplating,"
    Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan. (Poster + 2 min Presentation)
  48. Kyotaro Nitta, Koichiro Tachibana, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Reliability Evaluation of Au-Cu Microcantilever by Long-Term Vibration Test toward MEMS Components,"
    Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan. (Poster + 2 min Presentation)
  49. 【Invited】
    Daisuke Yamane
    "High-Sensitivity MEMS Inertial Sensor for Medical Applications,"
    The 2nd Taiwan-Japan Joint Symposium in Taiwan, Japan-Taiwan Young Researcher Mini-Workshop, May 31 - June 1, 2018, National Tsing Hua University (Hsinchu) and Fullon Hotel Taipei (Taipei), Taiwan.
  50. Kyoutarou Nitta, Koichiro Tachibana, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Structure Stability of Electrodeposited Au-Cu Alloy Micro-Cantilever Evaluated By Long-Term Vibration Test for Applications As Movable Components in MEMS Devices,"
    in Proc .233rd ECS Meeting, Seattle, WA, USA, May 13-17, 2018. (Poster)
  51. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida and Kazuya Masu,
    "Temperature Characteristics of MEMS Inertial Sensor Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. 13th Annual IEEE International Conference on Nano-Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2018), Grand Hyatt Singapore, Singapore, April 21-26, 2018, WM-II-f_3_243. (Oral)
  52. Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Pulse Current Electrodeposition of Ultrahigh Strength of Nanocrystalline Au-Cu Alloys,"
    in Proc. 22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry, Tokyo, Japan, April 15-18, 2018. (Poster)
  53. Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Electroplating of Gold on Titanium Substrate: Method to Deposit Defect-Free Film,"
    in Proc. 22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry, Tokyo, Japan, April 15-18, 2018. (Poster)
  54. Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. 2017 MRS Fall Meeting, Boston, Massachusetts, U.S., Nov. 26- Dec. 1, 2017. (Poster)
  55. Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Ultrahigh Strength in Electroplated Nanocrystalline Au-Cu Alloys Evaluated by Micro-Compression Tests,"
    in Proc. 2017 MRS Fall Meeting, Boston, Massachusetts, U.S., Nov. 26- Dec. 1, 2017. (Poster)
  56. Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Long-Term Vibration Testing of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. 2017 MRS Fall Meeting, Boston, Massachusetts, U.S., Nov. 26- Dec. 1, 2017. (Poster)
  57. Cheng-Yao Lo, Daisuke Yamane, and Kazuya Masu
    "Force Response and Vibration Characteristics of Flexible Capacitive Sensors,"
    in Proc. The 2nd International Symposium on Biomedical Engineering, Multi-Purpose Digital Hall, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan, November 7-9, 2017, pp. 284-285, B-113. (Poster)
  58. Moeto Nagai, Musashi Kakugawa, Daisuke Yamane, and Kazuya Masu
    "Vibration Testing of Microfluidic Devices for Cell Analysis: Toward a Chip in Everyday Life,"
    in Proc. The 2nd International Symposium on Biomedical Engineering, Multi-Purpose Digital Hall, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan, November 7-9, 2017, pp. 312-313, B-127. (Poster)
  59. Hirofumi Niijima, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes,"
    in Proc. The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2017), Nov. 6-9, 2017, Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea. (Late News, Poster)
  60. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Shinichi Iida,
    "Temperature Dependence on Package Sealing Ambient of MEMS Sensor Fabricated by Gold Electroplating,"
    in Proc. The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2017), Nov. 6-9, 2017, Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea. (Oral)
  61. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Young’s Modulus Evaluation of Ti/Au Micro-Cantilevers by Au Electrodeposition,"
    in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-P10. (Poster)
  62. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Mechanical Strengthening of Gold Micro-Cantilever by Control of Electroplating Conditions,"
    in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, E6-P26. (Poster)
  63. Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Long-Term Vibration Test and Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever as MEMS Components,"
    in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-P09. (Poster)
  64. Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Temperature Structure Stability of Multi-Ti/Au-Layered Micro-Cantilever,"
    in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-P08. (Poster)
  65. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Strategies of Mechanical Strengthening in Electroplated Au Materials,"
    in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, E6-P02. (Poster)
  66. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu,
    "Sub-1mG Inertial Sensors by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-05.
  67. 【Invited】
    Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Micro-Mechanical Property Enhancement of Metals Electroplated in Electrolyte Containing Supercritical CO2,"
    in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, E6-12.
  68. 【Invited】
    Masato Sone, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu,
    "Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometers,"
    in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-02.
  69. Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Defect-Free and Uniform Electroplating of Gold on Titanium Surface for Design of MEMS Components,"
    in Proc. TACT2017 International Thin Films Conference, National Dong Hwa University, Hualien, Taiwan, Oct. 15-18, 2017. (Poster)
  70. Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida and Kazuya Masu
    "A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes,"
    in Proc. 2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sep. 19-22, 2017, Sendai International Center, Sendai, Miyagi, Japan. (Late News, Oral)
  71. Ippei Tsuji, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    "Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. 2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sep. 19-22, 2017, Sendai International Center, Sendai, Miyagi, Japan. (Oral)
  72. Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara and Kazuya Masu
    "A Capacitive Sensor Circuit Based on Relaxation Oscillator for Sub-1mG MEMS Inertial Sensors,"
    in Proc. 2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sep. 19-22, 2017, Sendai International Center, Sendai, Miyagi, Japan. (Oral)
  73. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Mechanical Property Anisotropy of Pure Gold Evaluated by Micro-compression Test,"
    in Proc. 43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017), Braga, Portugal, Sept. 18-22, 2017. (Poster)
  74. Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Structure Stability Enhancement of Gold Micro-Cantilever with a Constrained at Top and Bottom of the Fixed-End,"
    in Proc. 43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017), Braga, Portugal, Sept. 18-22, 2017. (Poster)
  75. Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Effects of Bi-Layered Au/Ti Structure on Mechanical Properties of Micro-Cantilever Evaluated by Micro-Bending Test Toward Applications in MEMS Devices,"
    in Proc. 43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017), Braga, Portugal, Sept. 18-22, 2017. (Poster)
  76. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Enahnced Bending Strength of Electrodeposited Pure Gold Canrilevers in Micro-Bending Test,"
    in Proc. 43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017), Braga, Portugal, Sept. 18-22, 2017. (Poster)
  77. Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Electrochemical Plating of Au-Cu Alloy Films for MEMS Sensor Applications,"
    in Proc. RACI National Centenary Conference, Melbourne, Australia, July 23-28, 2017. (Poster)
  78. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "FEM Simulation on Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Cantilevers with Various Dimensions for Applications as Movable Structures in MEMS Devices,"
    in Proc. 21th International Conference on Solid State Ionics, SSI-21, Padua, Italy, June. 18-23, 2017. (Poster)
  79. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Micro-Mechanical Property Evaluation of Electroplated Au/Cu Alloys toward Applications in MEMS Accelerometers,"
    in Proc. 21th International Conference on Solid State Ionics, SSI-21, Padua, Italy, June. 18-23, 2017. (Poster)
  80. Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Electroplated Au-based Materials with High Micro-mecchanical Properties as MEMS accelerometer Components,"
    in Proc. 21th International Conference on Solid State Ionics, SSI-21, Padua, Italy, June. 18-23, 2017. (Poster)
  81. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017), June 18-22, 2017, Kaohsiung Exhibition Center, Kaohsiung, Taiwan, pp. 2187-2190. (Poster)
  82. Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry, Szeged, Hungary, April 23-26, 2017. (Poster)
  83. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, and Kazuya Masu,
    "MEMS inertial sensors for biomedical applications,"
    in Proc. 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017), UCLA Meyer & Renee Luskin Conference Center, Los Angeles, CA, USA, April 9-12, 2017.
  84. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Masato Sone and Kazuya Masu,
    "A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices,"
    in Proc. 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017), UCLA Meyer & Renee Luskin Conference Center, Los Angeles, CA, USA, April 9-12, 2017, MoP2.6, pp. 264-267. (Poster)
  85. Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Cheng-Yao Lo,
    "A Study on Flexible Tactile Sensor for Assistance Robots,"
    in Proc. International Symposium on Biomedical Engineering, Akio Suzuki Memorial Hall, M&D Tower, Tokyo Medical and Dental University, Tokyo, Japan, November 10-11, 2016, pp. 126-127. (Poster)
  86. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hideaki Nakajima, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices,"
    in Proc. 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016), ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto, Japan, November 8-11, 2016, 10D-5-1. (Oral)
  87. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. IEEE Sensors 2016, Oct. 30 - Nov. 2, 2016, Orland, FL, USA., pp. 1162-1164. (Oral)
  88. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Fine Grained Au Films with Controllable Mechanical Strength by Pulse Plating,"
    in Proc. The 2016 PRiME Meeting, Hawaii, USA, Oct. 2-7, 2016. (Poster)
  89. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. 2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016), Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, Sept. 26-29, 2016, pp. 485-486. (Oral)
  90. Toshifumi Konishi,Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System,"
    in Proc. 2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016), Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, Sept. 26-29, 2016, pp. 673-674. (Poster)
  91. 【Invited】
    Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers,"
    in Proc. 2nd International Conference and Expo on Separation Techniques, Valencia, Spain, Sep. 26-28.
  92. Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Mechanical Behaviour of Electroplated Gold Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016), the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria, Sept. 19-23, 2016. (Poster)
  93. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Controllable Mechanical Properties of Au Films by Pulse Electroplating for MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016), the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria, Sept. 19-23, 2016. (Poster)
  94. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices,"
    in Proc. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016), the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria, Sept. 19-23, 2016. (Poster)
  95. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Enhancement of Mechanical Properties in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide,"
    in Proc. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016), the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria, Sept. 19-23, 2016. (Poster)
  96. 【Invited】
    Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Masato Sone, Yoshihiro Miyake,
    "Development of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's Disease,"
    in Proc. the 46th European Solid-State Device Re-search Conference (ESSDERC), Swisstech Convention Centre, Lausanne, Switzerland, Sep. 12-15, 2016, pp.99-104.
  97. 【Invited】
    Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Enhanced mechanical property of metallic films with supercritical carbon dioxide for micro-electrical-mechanical system accelerometer,"
    in Proc. The 15th Symposium on Development of Supercritical Fluid Technology and Application and The 2nd International Workshop on Supercritical Fluid Dyeing Technology, Kaohsiung, Taiwan, Sep. 8-10.
  98. 【Invited】
    Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Electrodeposited Gold for Next Generation MEMS Accelerometer Toward Medical Applications,"
    in Proc. Integrative Biology-2016, Berlin, Germany, July 18-20 (invited lecture).
  99. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyohi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016), Kanazawa, Japan, June 26 - 29, 2016, pp. 299-300. (Poster)
  100. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A 1-mG MEMS Sensor,"
    in Proc. 229th ECS Meeting, San Diego, CA, USA, May 29 - June 3, 2016, MA2016-01(22):1147 (invited).
  101. Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Masakazu Sonobe, Takumi Kobayashi, Yamato Fukuta, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Study of Railroad Vehicle Control by Inertial Sensors,"
    in Proc. 11th World Congress on Railway Research, Milan, Italy, May 29 - June 3, 2016. (Poster)
  102. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Pulse Electroplating of Au Films with Ultra High Strength,"
    in Proc. 229th ECS Meeting, San Diego, CA, USA, May 29- June 2, 2016, MA2016-01:1123. (Poster)
  103. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016. (Poster)
  104. Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Structure,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016. (Poster)
  105. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Study of Gold Electroplating by Constant and Pulse Current Method with Non-Cyanide Gold Sulfite Electrolyte,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016. (Poster)
  106. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Strength for Micro-Electrical-Mechanical System Devices,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016. (Poster)
  107. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Preparation and Characterization of Gold Films by Electroplating with Supercritical Carbon Dioxide,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016. (Poster)
  108. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Design of Spring Constant Arranged for MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. IEEE NEMS 2016,Matsushima Bay and Sendai, Miyagi, Japan, April 17-20, 2016, B3P-B-54. (Poster)
  109. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. IEEE Inertial Sensors 2016, Surf & Sand Resort, Laguna Beach, California, USA, Feb. 23-25, 2016, Late News, pp. 148-149. (Oral)
  110. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Thin Films,"
    in Proc. TACT 2015 International Thin Films Conference, National Cheng Kung Univerisyt, Tainan, Taiwan, Nov, 15-18, 2015, pp. 513-516. (Poster)
  111. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer,"
    in Proc. IEEE Sensors 2015, BEXCO, Busan, South Korea, Nov. 1-4, 2015, pp. 513-516. (Oral)
  112. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology,"
    in Proc. 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, Sept. 27-30, 2015, Late News, pp. 786-787. (Oral)
  113. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with Different Aspect Ratio for MEMS Devices,"
    in Proc. 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, Sept. 27-30, 2015, pp. 52-53. (Poster)
  114. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Mechanical Properties of Electrodeposited Gold for MEMS Device,"
    in Proc. 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, Sept. 27-30, 2015, pp. 48-49. (Poster)
  115. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, and Katsuyuki Machida,
    "Novel Gain-Controlled Sensor Circuits Designed by Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, Sept. 27-30, 2015, pp. 798-799. (Oral)
  116. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layered Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers,"
    in Proc. 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), World Forum, Hague, Netherlands, Sept. 21-24, 2015, Wed-C-p81. (Poster)
  117. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "High Mechanical Strength Gold Micro-Components Fabricated by Pulse Electroplating,"
    in Proc. 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), World Forum, Hague, Netherlands, Sept. 21-24, 2015, Wed-C-p5. (Poster)
  118. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tsu-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Sample Size Effect on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test,"
    in Proc. 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), World Forum, Hague, Netherlands, Sept. 21-24, 2015, Wed-C-p19. (Poster)
  119. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology,"
    in Proc. 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), World Forum, Hague, Netherlands, Sept. 21-24, 2015, Wed-C-p11. (Poster)
  120. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, and Katsuyuki Machida,
    "A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. 25th Advanced Metallization Conference Asian Session (ADMETAplus2015), Sept. 16-18, 2015, Global Convention Plaza, Seoul National University, Seoul, Korea. (Poster)
  121. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, and Katsuyuki Machida,
    "A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. 32nd Advanced Metallization Conference (AMC2015), Sept. 9-11, 2015, the West Pickle Research Building (WPR) of The University of Texas at Austin, Austin, Texas, US. (Oral)
  122. Masaharu Yoshiba, Chun-yi Chen, Tso-fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Compression Deformation of Micro-components Fabricated by FIB from Gold Electrodeposited Films,"
    in Proc. International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015), Sun Moon Lake, Taiwan, Aug. 16-20, 2015, P13. (Poster)
  123. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G MEMS Inertial Sensor,"
    in Proc. International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015), Sun Moon Lake, Taiwan, Aug. 16-20, 2015, ID20.
  124. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Nano-G metrology system and its biomedical applications by CMOS-MEMS technology,"
    in Proc. 3rd International Conference on Integrative Biology, Melia Valencia, Valencia, Spain, Aug. 4-6, 2015, pp. 87.
  125. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Tatsuo Sato, Masato Sone,
    "Stability of Movable Structure Formed by Au Electroplating for MEMS Devices,"
    in Proc. 8th Int. Conf. on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2015), SUNTEC, Singapore, June 28 - July 3, 2015. (Poster)
  126. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G MEMS Sensor,"
    in Proc. the 227th ECS Meeting, the Hilton Chicago, Chicago, Illinois, USA, May 24-28, 2015, pp. 1332.
  127. 【Invited】
    Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Kazuya Masu,
    "CMOS -MEMS -New Frontier of Multilevel Interconnect Technology-,"
    in Proc. 2015 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015), Kyoto Terrsa, Kyoto, Japan, April 14-17, 2015, pp. 201.
  128. Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A MEMS Energy Harvesting Device for Integrated CMOS-MEMS Technology,"
    in Proc. 27th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan, Nov. 4-7, 2014, pp. 6C-5-5.
  129. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A 1mG-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor,"
    in Proc. IEEE SENSORS 2014, Valencia Conference Center, Valencia, Spain, Nov. 2-5, 2014, pp. 1591-1594.
  130. Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, and Katsuyuki Machida,
    "A Novel Electromechanical Model of a MEMS Energy Harvesting Device for a Multi-physics Simulation Platform on a Circuit Simulator,"
    in Proc. Int. Conf. on Solid-State Devices and Materials (SSDM 2014), Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, , Sep. 8-11, 2014, pp. 100-101.
  131. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G Tri-axis MEMS Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,"
    in Proc. Int. Conf. on Solid-State Devices and Materials (SSDM 2014), Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, Sep. 8-11, 2014, pp. 974-975.
  132. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,"
    in Proc. 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2014), EXCO, Daegu, Korea. June 29 - July 2, 2014, P2-55.
  133. Hiroyuki Ito, Shoichi Masui, Youichi Momiyama, Atsushi Shirane, Motohiro Takayasu, Yoshihiro Yoneda, Taiki Ibe, Taisuke Hamada, Sho Ikeda, Daisuke Yamane, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu,
    "2.3 pJ/bit Frequency-Stable Impulse OOK Transmitter Powered Directly by an RF Energy Harvesting Circuit with -19.5 dBm Sensitivity,"
    IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symposium, Tampa Convention Center, USA, pp.13-15, Jun. 1-3, 2014.
  134. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 2014 IEEE International Interconnect Technology Conference/Advanced Metallization Conference (IITC/AMC 2014), San Jose, CA, USA, May 20-23, 2014, pp.113-116.
  135. 【Invited】
    Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Kazuya Masu,
    "Integrated CMOS-MEMS Technology and its Application,"
    in Proc. the 225th Meeting of the Electrochemical Society (The 2nd More-than-Moore Symposium), Orland, Florida, USA, May 11-16, 2014, 1407.
  136. Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer,"
    in Proc. Symp. on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2014), Cannes, Cote d'Azur, France, April 1-4, 2014, pp. 69-72.
  137. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Sub-1G MEMS Accelerometer,"
    in Proc. IEEE SENSORS 2013, Baltimore, Maryland, USA, Nov. 3-6, 2013, pp. 171-174.
  138. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Satoshi Maruyama, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Novel Sensor Circuits Design Using Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Technology,"
    2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013), Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan, Sep. 24-27, 2013, G-4-2.
  139. Motohiro Takayasu, Atsushi Shirane, Sang yeop Lee, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Mi Xiaoyu, Hiroaki Inoue, Fumihiko Nakazawa, Satoshi Ueda, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu,
    "An 8-ch, 20-V Output CMOS Switching Driver with 3.3-V Power Supply for Integrated MEMS Devices Controlling,"
    2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013), Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan, Sep. 24-27, 2013, PS-5-1.
  140. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "AN ARRAYED MEMS ACCELEROMETER WITH A WIDE RANGE OF DETECTION,"
    in Proc. 17th Int. Conf on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013), Barcelona, Spain, June 16-20, 2013, pp.22-25.
  141. Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Evaluation of a Capacitive Sensor with a Gold Proof Mass Toward Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,"
    25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012), Kobe Meriken Park Oriental Hotel, Kobe, Japan, Oct. 30 - Nov. 2, 2012, pp. 1B-5-4.
  142. Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Novel Sensor Structure and its Fabrication Process for Integrated CMOS-MEMS Accelerometer,"
    2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012), Kyoto Int. Conf. Center, Kyoto, Japan, Sep. 25-27, 2012 (Late News), pp.1134-1135.
  143. Toshifumi Konishi, Satoshi Maruyama, Makoto Mita, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A CMOS-MEMS Design Technique based on an Electrical Circuit Simulator with Hardware Description Language,"
    2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012), Kyoto Int. Conf. Center, Kyoto, Japan, Sep. 25-27, 2012, pp. 1120-1121.
  144. Daisuke Yamane, Yi-Chien Wu, Ting-Hsiang Wu, Hiroshi Toshiyoshi, Michael A. Teitell, and Pei-Yu Chiou,
    "Real-Time Monitoring of Photothermal Porated Mammalian Cells by Electric Impedance Sensors,"
    IEEE International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics, Banff, Alberta, Canada, August 6-9, 2012, pp. 220-221.
  145. 【Invited】
    Daisuke Yamane, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "Monolithic integration of passive RF components by MEMS,"
    IEEE 2011 International Symposium on VLSI Design, Automation and Test (VLSI-DAT), Hsinchu, Taiwan, Apr. 25-28, 2011.
  146. Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A Ku-Band RF-MEMS Phase Shifter with SOI Double-Side Bulk-Micromachining Design,"
    5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT), Perth, Australia, July 6-9, 2010, pp.68.
  147. Daisuke Yamane, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi and Shigeo Kawasaki,
    "Development of a Dual-SPDT RF-MEMS Switch for Ku-band,"
    IEEE Radio and Wireless Symposium (RWS), New Orleans, LA, USA, Jan.10-14, 2010, pp.432-435.
  148. Daisuke Yamane, Kiyotaka Yamashita, Harunobu Seita, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi and Shigeo Kawasaki,
    "A Dual-SPDT RF-MEMS Switch on a Small-Sized LTCC Phase Shifter for Ku-band operation,"
    Asia-Pacific Microwave Conference (APMC), Singapore, Dec. 7-10, 2009, pp.555-558.
  149. Daisuke Yamane, Kiyotaka Yamashita, Harunobu Seita, Hiroshi Toshiyoshi, and Shigeo Kawasaki,
    "A Prototype of Ku-Band Small-Sized LTCC Phase Shifter with RF-MEMS Switches,"
    2009 Thailand-Japan MicroWave (TJMW2009), King Mongkut’s University of Technology North Bangkok Bangkok, Thailand, August 20-21, 2009, FR7-5.
  150. Kazuhiro Takahashi, Makoto Mita, Muneki Nakada, Daisuke Yamane, Akio Higo, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "Development of Multi-user Multi-chip SOI CMOS-MEMS Process,"
    IEEE MEMS, Sorrent, Italy, Jan. 25-29, 2009, pp.701-704.
  151. Daisuke Yamane, Harunobu Seita, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A 12-GHz DPDT RF MEMS Switch with Layer-wise Waveguide/Actuator Design Technique,"
    IEEE MEMS, Sorrent, Italy, Jan. 25-29, 2009, pp.888-891.
  152. Daisuke Yamane, Takeshi Yamamoto, Kenichiro Urayama, Kiyotaka Yamashita, Hiroshi Toshiyoshi, and Shigeo Kawasaki,
    "A Phase Shifter by LTCC Substrate with an RF-MEMS Switch,"
    The 38th European Microwave Conference (EuMC), Amsterdam, Netherlands, Oct.28-31, 2008, pp.611-613.
  153. David Dubuc, Daisuke Yamane, Zhang Rui, Yuheon Yi, Katia Grenier, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "Modelling and Design Guidelines of Metamaterial-based Artificial Dielectric for the Miniaturization of Microwave Passive Circuit,"
    Metamaterials' 2008, Pamplona, Spain, Sep. 21-26, 2008.
  154. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Kazuhiro Takahashi, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "Microwave Switches by MEMS Technology and their Application to Phase-Shifter,"
    Second Japan-Taiwan Workshop on Future Frequency Control Devices, Tamkang University, Taiwan, Dec. 5, 2007.
  155. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Kazuhiro Takahashi, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "RF-MEMS Switches for 5.8 GHz Phase Shifter Application,"
    Int. Workshop on Piezo-devices based on Latest MEMS Technologies, Nihon University, Tokyo, Nov. 26-27, 2007.
  156. Shinji Yamashita and Daisuke Yamane,
    "Stabilization of mode-locked fiber lasers using Bismuth-oxide-based highly nonlinear fiber,"
    Topical Meeting on Optical Amplifiers and Their Applications (OAA 2006), Whistler, Canada, June 25, 2006, no. OMD6.



国内会議，
国内外シンポジウムなど
（156件，うち招待5件）
  1. Yu-an Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    「Electrodeposited High Strength Au-TiO2 Nano Composite Film for MEMS Devices」
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 2020年3月12日－15日, 上智大学　四谷キャンパス [15a-PB3-4].（ポスター）
  2. 入谷 友樹, 新田京太朗, Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    「Au-Pd合金膜の電気メッキとその機械的特性」
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 2020年3月12日－15日, 上智大学　四谷キャンパス [15a-PB3-5].（ポスター）
  3. 渥美 賢, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    「ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討」
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 2020年3月12日－15日, 上智大学　四谷キャンパス [14p-A305-11].（口頭）
  4. 市川 崇志, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    「ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討」
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 2020年3月12日－15日, 上智大学　四谷キャンパス [14p-A305-11].（口頭）
  5. 古賀 達也, 市川 崇志, 田中 直登, 緒方 大樹, 大良 宏樹, 山根 大輔, 石原 昇, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 町田 克之, 三宅 美博, 益 一哉,
    「微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討」
    第11回集積化MEMSシンポジウム, 2019年11月19日-11月21日, アクトシティ浜松.[19pm4-A-3]（口頭）
  6. 市川 崇志, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 石原 昇, 伊藤 浩之, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価 」
    第11回集積化MEMSシンポジウム, 2019年11月19日-11月21日, アクトシティ浜松.[19pm4-A-4]（口頭）
  7. 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ」
    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月19日-11月21日, アクトシティ浜松.[19am3-PS3-21]（ポスター）
  8. 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 益 一哉
    「Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2)」
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年9月18日－21日, 北海道大学 札幌キャンパス [19a-E304-7].（口頭）
  9. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討」
    令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 東京工業大学すずかけ台キャンパス, 2019年7月1日－2日, MSS-19-26, pp.67-72.（口頭）.
  10. 山根 大輔
    「Energy Harvesters for Autonomous Wireless Sensors in True IoT Society」
    Nature創刊150周年記念シンポジウム「日本の科学の未来」, ポスターセッション“Your vision” 「社会へ貢献するあなたの研究ビジョン」, 2019年4月4日, 東京大学　本郷キャンパス　安田講堂 （ポスター＋受賞講演）
  11. 渥美 賢, 乙部 翔太, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    「積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日－12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-1].（口頭）
  12. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    「3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日－12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-2].（口頭）
  13. 渡邊 瞳, 鈴木 拓真, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「Ti/Au微小カンチレバーの温度依存性への積層構造の影響」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日－12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-3].（口頭）
  14. 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    「Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日－12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-9].（ポスター）
  15. 鈴木 康介, Ken Hashigata, 浅野 啓介, Chun-Yi Chen, 名越 貴志, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「微小曲げ試験による金材料の機械的強度のサンプル形状効果」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日－12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-10].（ポスター）
  16. 新田 京太朗, Tang Haochun, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「電気めっき法によるAu-Cu合金微小カンチレバーの作製」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日－12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-11].（ポスター）
  17. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討」
    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[30am3-PLN-89]（ポスター）
  18. 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討」
    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[01pm1-PLN-229]（ポスター）
  19. 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ」
    応用物理学会　集積化MEMS技術研究会主催 第10回集積化MEMSシンポジウム, 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[31pm1-C-4]（口頭）
  20. 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する研究 」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日－21日, 名古屋国際会議場 [18a-233-6].（口頭）
  21. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「高分解能3軸シングルAu錘平行平板型MEMS加速度センサの検討 」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日－21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-5].（ポスター）
  22. 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「Au 錘厚膜化によるMEMS 加速度センサの高性能化の検討 」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日－21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-4].（ポスター）
  23. 折原 恒祐, 古賀 達也, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「MEMS加速度センサにおける時間ドメイン容量検出回路の統合設計モジュールの検討 」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日－21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-3].（ポスター）
  24. 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「分割電極型容量検出（SCD）方式を用いたAu錘3軸全差動MEMS加速度センサの検討」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日－21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-2].（ポスター）
  25. 古賀 達也, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「Au錘MEMS慣性センサモジュールの評価」
    平成30年電気学会E部門総合研究会, 奈良県文化会館, 2018年7月12日－13日, MSS-18-15, pp.12.（口頭）.
  26. 乙部 翔太, 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 町田 克之, 益 一哉,
    「シングルAu錘3軸差動MEMS加速度センサの検討」
    平成30年電気学会E部門総合研究会, 奈良県文化会館, 2018年7月12日－13日, MSS-18-17, pp.12.（口頭）.
  27. 古賀 達也, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,,
    「積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, S24 集積化センサシステムによるユビキタス健康管理を目指して, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [19p-C101-10].（口頭）
  28. 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-11].（ポスター）
  29. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉, 飯田 慎一,
    「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの封止環境における温度依存性」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-10].（ポスター）
  30. 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解めっき法によるMEMS用金銅合金の作製及び機械的特性評価」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-9].（ポスター）
  31. 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解めっき法によるTi/Au微小カンチレバーのヤング率評価」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-7].（ポスター）
  32. 新田 京太朗, 橘 航一朗, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「長期振動試験によるAu-Cu合金微小カンチレバーの構造安定性」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-6].（ポスター）
  33. 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chun-Yi Chen, 名越 貴志, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電析制御による微小金カンチレバーの曲げ特性の改善」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-5].（ポスター）
  34. Ken Hashigata, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    「Enhanced Mechanical Strength of Ti-Au Bi-Layered Micro-Cantilever For MEMS Accelerometers」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-4].（ポスター）
  35. 【招待講演】
    伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 三宅 美博, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, S24 集積化センサシステムによるユビキタス健康管理を目指して, 2018年3月17日－20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [19p-C101-7].
  36. 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 佐布 晃昭, 小西 敏文, 道正 志郎, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討」
    平成30年電気学会全国大会, 九州大学 伊都キャンパス, 2018年3月14日－16日, 3-158.（口頭）
  37. 高安 基大, 古賀 達也, 辻 一平, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討」
    平成30年電気学会全国大会, 九州大学 伊都キャンパス, 2018年3月14日－16日, 3-167.（口頭）
  38. 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討」
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [02pm1-PLN-17].（Late News, ポスター）
  39. 折原 恒祐, 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討」
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [31am3-PLN-2].（Late News, ポスター）
  40. 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2)」
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PLN-8].（Late News, ポスター）
  41. 古賀達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討」
    応用物理学会　集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01pm1-A-5].（口頭）
  42. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討」
    応用物理学会　集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01pm1-A-6].（口頭）
  43. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路 」
    応用物理学会　集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01pm1-A-4].（口頭）
  44. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討」
    応用物理学会　集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PM-11].（ポスター）
  45. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価」
    応用物理学会　集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PM-12].（ポスター）
  46. 古賀達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討」
    第78応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日－8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル [8p-PA2-16].（ポスター）
  47. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討」
    第78応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日－8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル [8p-PA2-15].（ポスター）
  48. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路」
    第78応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日－8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル [8p-PA2-14].（ポスター）
  49. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討」
    第78応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日－8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル [8p-PA2-13].（ポスター）
  50. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術を用いた高感度MEMS 傾斜計の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2017年7月26日, 香川大学 林町キャンパス, P6.（ポスター）
  51. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS 加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2017年7月26日, 香川大学 林町キャンパス, P2.（ポスター）
  52. 曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉,
    「非侵襲性高感度医用デバイスのための貴金属材料の作製とその材料評価」
    第63回 国立大学共同利用・共同研究拠点 知の拠点セミナー, 2017年6月16日, 新丸の内ビルディング　京都大学東京オフィス.（口頭）
  53. 鈴木 拓真, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-11].（ポスター）
  54. 橘 航一朗, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-12].（ポスター）
  55. 飯塚 和希, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「振動型エネルギーハーベスティングデバイスのためのSPICE系統合設計の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-13].（ポスター）
  56. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 中島 英亮, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（１）」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-14].（ポスター）
  57. 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（２）」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-15].（ポスター）
  58. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-16].（ポスター）
  59. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-17].（ポスター）
  60. 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-18].（ポスター）
  61. 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「移動体制御による慣性センサ評価系の構築」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日－17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-19].（ポスター）
  62. 【招待講演】
    曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之,
    「微小電子機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術 」
    第6回CSJ化学フェスタ, 2016年11月15日.
  63. 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PS-020].（ポスター）
  64. 葭葉 将治, Chen Chun-Yi, 名越 貴志, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「高感度MEMS 加速度センサー用金電気めっきの変形挙動 および強度の結晶方位依存性評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PS-002].（ポスター）
  65. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PS-017].（ポスター）
  66. 柳田 佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chu-Yi, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「微小引張試験片を用いたMEMS 用金めっき材料の機械的特性の評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PS-003].（ポスター）
  67. 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PM-006].（ポスター）
  68. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉,
    「RC発振器型高感度容量検出回路」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [24am2-E-4]. （口頭）
  69. 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-007].（ポスター）
  70. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PM-008].（ポスター）
  71. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-003]. （ポスター）
  72. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-001].（ポスター）
  73. 【招待講演】
    曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 陳 君怡, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之,
    「高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価」
    日本学術振興会・第172委員会, 2016年10月21日.
  74. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 益 一哉,
    「RC発振器型容量検出回路の高感度化の検討」
    電子情報通信学会ソサイエティ大会, 2016年9月20日－23日, 北海道大学札幌キャンパス, 北海道. （口頭）
  75. Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    「High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日－16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [15a-B10-13].（口頭）
  76. 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日－16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-1].（ポスター）
  77. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法（I）」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日－16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [15p-B10-8].（ポスター）
  78. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日－16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-3]. （ポスター）
  79. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「1mG以下検出へ向けた積層メタルMEMS加速度センサの基礎検討」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日－16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-2].（ポスター）
  80. 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価」
    LSIとシステムのワークショップ, 2016年5月16日－2016年5月17日,
    東京大学 生産技術研究所 総合研究実験棟(An棟) 2階 コンベンションホール （ポスター）
  81. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日－22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-17].（ポスター）
  82. 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日－22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-18].（ポスター）
  83. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解金めっきで作製した Ti/Au 微小カンチレバーの構造安定性」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日－22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-19].（ポスター）
  84. Haochun Tang,Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    「Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日－22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-20].（ポスター）
  85. 石塚 陽大, 柳田 佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ圧縮試験による金 / チタン積層構造の機械的特性評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日－22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-21].（ポスター）
  86. 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ曲げ試験による電析金薄膜の機械的特性評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日－22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-23].（ポスター）
  87. 葭葉 将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ圧縮試験による MEMS 用金電気めっきの機械的特性の評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日－22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-25].（ポスター）
  88. 劉 安琪, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討」
    電子情報通信学会2016年総合大会, 2016年3月15日-18日, 九州大学伊都キャンパス, 福岡県福岡市, C-12-13.（口頭）
  89. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討」
    電子情報通信学会2016年総合大会, 2016年3月15日-18日, 九州大学伊都キャンパス, 福岡県福岡市, C-10-16.（口頭）
  90. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）, 新潟県新潟市, 29pm3-PM-5.（ポスター）
  91. 小西 敏文, 山根 大輔, 高安 基大, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）, 新潟県新潟市, 29pm2-D-4.（ポスター）
  92. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「移動体制御における慣性センサ適用性の検討」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）, 新潟県新潟市, 30pm1-D-6.（口頭）
  93. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G～20G集積化MEMS慣性センサ」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）, 新潟県新潟市, 29pm3-PM-2.（ポスター）
  94. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G～20G集積化MEMS加速度センサの基本評価」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-1].（ポスター）
  95. 小西 敏文, 山根 大輔, 高安 基大, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-2].（ポスター）
  96. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-3].（ポスター）
  97. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, 小西 敏文, 松島 隆明, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2015年7月31日, NHK放送技術研究所, 東京都世田谷区, IMWS-06-P7.（ポスター）
  98. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「MEMS慣性センサを用いた移動体制御の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2015年7月31日, NHK放送技術研究所, 東京都世田谷区, IMWS-06-P6. （ポスター）
  99. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 亀井 将太, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「慣性センサを用いた移動体制御の基礎検討」
    平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 九州大学医学部百年講堂, 2015年7月2日－3日, PHS-15-18/CHS-15-31/MSS-15-3/BMS-15-24, pp.5-8.（口頭）
  100. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    「電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価」
    平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 九州大学医学部百年講堂, 2015年7月2日－3日, PHS-15-20/CHS-15-33/MSS-15-5/BMS-15-26, pp.15-18.（口頭）
  101. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1G検出可能な3軸MEMS加速度センサの基礎検討」
    平成27年電気学会全国大会, 東京都市大学世田谷キャンパス, 2015年3月24日－26日, 13P-A3 3-113. （口頭）
  102. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討」
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 分科企画シンポジウム 13半導体, 2015年3月11日－14日, 東海大学 湘南キャンパス [12p-D15-3], pp. 17-189.（口頭）
  103. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「エネルギーハーべスティングデバイスの検討（5）」
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年3月11日－14日, 東海大学 湘南キャンパス [11p-A29-5], pp. 12-125.（ポスター）
  104. Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "MEMS for sensing sub-1G"
    The First Joint Workshop on Electrical Engineering between Tokyo Tech & KAIST, KAIST, Korea, Nov.21, 2014, pp. 19　（口頭）
  105. 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「回路シミュレータを用いたMEMSエネルギーハーベスティングデバイスの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第6回集積化MEMSシンポジウム（同時開催：第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム）, 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C1].（口頭）
  106. 松島 隆明, 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「Au積層形成技術による3軸MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第6回集積化MEMSシンポジウム€（同時開催：第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム）, 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C5].（口頭）
  107. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 亀井 将太, 益 一哉, 町田 克之
    「高感度静電容量型センサにおけるブラウニアン・ノイズ評価の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第6回集積化MEMSシンポジウム（同時開催：第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム）, 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C4].（口頭）
  108. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「集積化CMOS-MEMS技術によるSub-1G加速度センサの基礎検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第6回集積化MEMSシンポジウム（同時開催：第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム）, 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C3].（口頭）
  109. 亀井 将太, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS－MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術）, 2014年9月17日－20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-4], pp. 13-065.（ポスター）
  110. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル構造による３軸加速度センサの検討」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術）, 2014年9月17日－20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-5], pp. 13-066. （ポスター）
  111. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「エネルギーハーべスティングデバイスの検討（4）」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術）, 2014年9月17日－20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-6], pp. 13-067.（ポスター）
  112. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P7. （ポスター）
  113. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 亀井 将太, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P5. （ポスター）
  114. 山根 大輔, 亀井 将太, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「集積化CMOS-MEMS加速度センサに向けたSub-1Gセンサ」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P4. （ポスター）
  115. 山根 大輔, 松島 隆明, 小西 敏文, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討」
    平成26年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 東京大学生産技術研究所, 2014年5月27日－28日, MSS-14-002.（口頭）
  116. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討」
    平成26年電気学会全国大会, 愛媛大学城北キャンパス, 2014年3月18日－20日, 53-C1 3-128.（口頭）
  117. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハーベスティングデバイスの検討（2）」
    第61回応用物理学会春季学術講演会　13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日－20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-3, pp. 13-157.（ポスター）
  118. 小西 敏文, 加賀谷 賢, 山根 大輔, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 益 一哉, 町田 克之, 年吉 洋,
    「エネルギーハーベスティングデバイスの検討（3）」
    第61回応用物理学会春季学術講演会　13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日－20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-4, pp. 13-158.（ポスター）
  119. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサ-2軸MEMS加速度センサの検討-」
    第61回応用物理学会春季学術講演会　13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日－20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-2, pp. 13-156.（ポスター）
  120. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1G MEMS加速度センサの検討」
    第61回応用物理学会春季学術講演会　13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日－20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-1, pp. 13-155.（ポスター）
  121. 伊藤 浩之, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「RF受信機のためのアレイ型MEMS共振器ミキサの検討」
    第61回応用物理学会春季学術講演会　13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日－20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-5, pp. 13-159. （ポスター）
  122. 高安 基大, 白根 篤史, 李 尚曄, 山根 大輔, 伊藤 浩之, ミイ シャオユウ, 井上 広章. 中澤 文彦, 上田 知史, 石原 昇, 益 一哉,
    「CMOS技術による8-ch 20-V出力MEMSドライバ回路」
    電子情報通信学会 第34回 アナログRF研究会, 2013年11月18日-19日, 東京工業大学 大岡山キャンパス 東工大蔵前会館, 東京都, Vol. RF2013-2, p. 7.（口頭）
  123. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハーベストデバイスの小型化の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-003].（ポスター）
  124. 伊藤 浩之, 小西 敏文, 山根 大輔, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「ミキサファーストRF 受信機のためのMEMS 共振器ミキサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[7AM2-E-8].（口頭）
  125. 高安 基大, 白根 篤史, 李 尚曄, 山根 大輔, 伊藤 浩之, ミイ シャオユウ, 井上 広章. 中澤 文彦, 上田 知史, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS 制御用高耐圧CMOS スイッチングドライバ回路」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[7AM2-E-6].（口頭）
  126. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 丸山 智史, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いた集積化CMOS-MEMS技術のためのセンサ回路の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-001].（ポスター）
  127. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの特性評価」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-002].（ポスター）
  128. 【招待講演】
    小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 町田 克之, 益 一哉, 年吉 洋
    「CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析 -集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-」
    電子情報通信学会　シリコン・フォトニクス研究会, 2013年10月18日, 東京工業大学大岡山キャンパス [SIPH2013-99].
  129. 加賀谷 賢, 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハーベストデバイスの検討(1)」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-5], pp. 13-204.（ポスター）
  130. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 丸山 智史, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-3], pp. 13-202.（ポスター）
  131. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A（MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-4], pp. 13-203.（ポスター）
  132. 佃 真文, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討」
    平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会, 2013年8月8日, 東京工科大学　蒲田キャンパス [MSS-13-001]. （口頭）
  133. 小西 敏文, 丸山智史, 山根 大輔, 松島 隆明, 町田 克之, 益 一哉, 年吉 洋
    「回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMSのための統合設計環境の構築」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2013年7月26日, 大阪府立大学２１世紀科学研究機構「植物工場研究センター」, P9.（ポスター）
  134. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「金メッキ集積化CMOS-MEMSによるアレイ型加速度センサの小型化」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2013年7月26日, 大阪府立大学21世紀科学研究機構「植物工場研究センター」, P7. （ポスター）
  135. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 本橋 剛, 松島 隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの評価」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL（MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-4], pp. 22-015.（ポスター）
  136. 小西 敏文, 山根 大輔, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの設計」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL（MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-5], pp. 22-016.（ポスター）
  137. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの検討」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL（MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-6], pp. 22-017.（ポスター）
  138. 【招待講演】
    町田 克之, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 益 一哉
    "集積化CMOS-MEMS技術の検討,"
    平成25年度電気学会全国大会・シンポジウム（S24）ワイヤレス通信応用RF-MEMS技術, 2013年3月22日, 名古屋大学 [3-S24-1].
  139. 小西 敏文, 丸山 智史, 三田 信, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 藤田 博之, 年吉 洋,
    「ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム　北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  140. 山根 大輔, 本橋 剛, 小西敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム　北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  141. 本橋 剛, 小西敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「0.35μmCMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム　北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  142. 加賀谷 賢, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「統合設計技術のためのMEMS加速度センサのモデルの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム　北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  143. 松島 隆明, 小西 敏文, 本橋 剛, 山根 大輔, 伊藤, 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田, 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討（3）」
    2012年秋期第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛大学・松山大学, 2012年9月11日-14日（合同セッションL, 「MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, pp. 22-006.
  144. 本橋 剛, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討（4）」
    2012年秋期第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛大学・松山大学, 2012年9月11日-14日（合同セッションＬ, 「MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, pp. 22-007.
  145. 山根 大輔, 本橋 剛, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催　第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ　平成24年7月20日, 岩手県雫石・盛岡セイコー工業株式会社, P5.
  146. 山根 大輔, Winston Sun, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「SOIレイヤ分離設計によるモノリシックRF-MEMS移相器」
    電気学会センサ・マイクロマシン部門　第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, タワーホール船堀, 東京都, 平成23年9月26-27日, A2-1.
  147. 山根 大輔, 藤田 博之, 年吉 洋
    「機能レイヤ分離設計によるSOI RF-MEMS受動素子に関する研究」
    固体エレクトロニクス・光エレクトロニクス研究会, グローバルCOE「若手研究」報告会
    東京大学工学部2号館, 東京都, 平成23年3月2日.
  148. 山根 大輔, Winston Sun, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「Ku帯デュアルSPDT RF-MEMSスイッチの開発」
    電気学会センサ・マイクロマシン部門　第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, くにびきメッセ, 島根県松江市, 平成22年10月14-15日, B5-4.
  149. Winston Sun, Daisuke Yamane, Yuheon Yi, Hiroshi. Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita, Kiyotaka Yamashita,
    “A Loaded-Line Phase Shifter Using MEMS Switches,”
    電気学会センサ・マイクロマシン部門　第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, タワーホール船堀, 東京都, 平成21年10月15-16日.
  150. 張 鋭, 山根 大輔, 藤田 博之, 年吉 洋
    「RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作」
    電気学会E部門総合研究会（マイクロマシン・センサシステム研究会）, 東京工科大学2009年7月23-24日, MSS-09-3, pp.13-17.
  151. 山根 大輔, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 年吉 洋
    「Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価」
    平成21年電子情報通信学会全国大会, 愛媛大学 2009年3月17-20日.
  152. 山根 大輔
    「RF-MEMSスイッチの導波路／アクチュエータ分離設計・試作」
    The Second Active Phased Array Antenna Symposium, 東京大学生産技術研究所, 平成20年3月26日.
  153. 山根 大輔, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「導波路/アクチュエータのレイヤ分離構造設計技術によるRF-MEMSスイッチ」
    平成20年電気学会全国大会, 福岡工業大学, 2008年3月19-21日.
  154. 山本 剛司, 清田 春信, 川崎 繁男, 山下 清隆, 石崎 俊雄, 田村 昌也, 山根 大輔, 年吉 洋, 篠原 真毅, 三谷 友彦
    「LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作」
    電子情報通信学会マイクロ波研究会（MW研究会）, 福井大学文京キャンパスアカデミーホール, 2007年12月18日.
  155. 山根 大輔, 高橋 一浩, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ」
    平成19年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会, 筑波大学 大学会館, 平成19年7月2-3日.
  156. 山根 大輔, Winston Sun, 年吉 洋
    「RF-MEMSスイッチに関する研究動向報告」
    The First Active Phased Array Antenna Symposium, 東京大学生産技術研究所, 平成19年3月29日.



受賞等
  1. 上級会員授与
    電気学会より上級会員の称号を授与
    (2019年10月9日）
    授与者：山根大輔
  2. SDGs賞
    Nature創刊150周年記念シンポジウム「日本の科学の未来」
    ポスターセッション“Your vision” 「社会へ貢献するあなたの研究ビジョン」
    (2019年4月4日）
    発表タイトル：「Energy Harvesters for Autonomous Wireless Sensors in True IoT Society」
    受賞者：山根大輔
  3. 優秀ポスター賞
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第9回「集積化MEMSシンポジウム」
    (2018年3月）
    論文タイトル：「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討」
    受賞者：小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉　洋, 益　 一哉, 町田克之
  4. IEEE SENSORS 2016 Best Industry Paper Award
    IEEE Sensors Council
    (2016年11月）
    論文タイトル：「A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology」
    受賞者：Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Masato Sone, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi
  5. 最優秀技術展示賞
    電気学会センサ・マイクロマシン部門
    (2016年10月）
    論文タイトル：「ナノ慣性計測デバイス・システム技術とその応用創出」
    受賞者：東京工業大学 益研究室, 三宅研究室, 曽根研究室
  6. 平成28年度「東工大挑戦的研究賞」 学長特別賞
    東京工業大学
    (2016年8月）
    論文タイトル：「マイクロ電気機械素子とその金属結晶粒制御によるナノG慣性センサの創出」
    受賞者：山根 大輔
  7. 最優秀ポスター賞（学生部門）
    電子情報通信学会集積回路研究専門委員会　LSIとシステムのワークショップ
    (2016年5月）
    論文タイトル：「小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価」
    受賞者：高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎，石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
  8. 研究奨励賞
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第6回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ
    (2016年3月）
    論文タイトル：「ＭＥＭＳ慣性センサを用いた移動体制御の検討」
    受賞者：高安基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  9. 第16回 TANAKAホールディングス株式会社「貴金属に関わる研究助成金」 MMS賞
    (2015年3月）
    研究名称：「微小加速度検出を可能にするMEMS加速度センサの開発」
    受賞者：山根 大輔
  10. 優秀論文発表賞
    平成26年電気学会全国大会
    (2015年3月）
    発表論文名：「MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討（論文番号：3-128）」
    受賞者：山根 大輔
  11. Poster Award
    第74回応用物理学会秋季学術講演会
    (2013年9月）
    論文タイトル：「アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価」
    受賞者：山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 町田 克之, 益　一哉
  12. 総合研究会優秀論文発表賞
    平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門
    (2013年8月）
    論文タイトル：「アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討」
    受賞者：佃 真文, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
  13. 優秀論文賞
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会　第4回「集積化MEMSシンポジウム」
    (2013年3月）
    論文タイトル：「ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術」
    受賞者：小西 敏文, 丸山 智史, 三田 信, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉, 藤田 博之, 年吉 洋
  14. 最優秀学生論文賞（Gold Prize in the Student Paper Competition）
    Asia-Pacific Microwave Conference (APMC)
    Singapore, Dec. 7th-10th, 2009
    論文タイトル：「A Dual-SPDT RF-MEMS Switch on a Small-Sized LTCC Phase Shifter for Ku-band operation」
    受賞者：山根 大輔



特集記事，報道発表など
  1. 「加速度センサー、感度100倍」
    日経産業新聞　2019年8月9日 6面

  2. 「小型加速度センサー　一層の普及へ　感度100倍超、ノイズ1/10」
    科学新聞　2019年8月2日 10面

  3. 「東工大とＮＴＴ―ＡＴ　１μＧ級の検知実現　ＭＥＭＳ加速度センサー」
    電子デバイス産業新聞　2019年8月1日 10面

  4. 「1μGレベルの検出が可能に：MEMS加速度センサー、高感度で低ノイズを実現」
    EE Times Japan　2019年7月25日

  5. 「MEMS加速度センサー、高感度で低ノイズを実現」
    Yahoo! JAPAN ニュース　2019年7月25日

  6. 「東工大ら，加速度センサーを高感度・低ノイズ化」
    OPTRONICS ONLINE　2019年7月25日

  7. 「加速度センサーの高感度化・低ノイズ化に成功」
    excite ニュース　2019年7月23日

  8. 「東工大とNTT-AT、超低雑音・超高感度特性を有するMEMS加速度センサーの開発に成功」
    日本経済新聞電子版　2019年7月23日

  9. 「加速度センサーの高感度化・低ノイズ化に成功」
    東工大ニュース，2019年7月23日

  10. 「多様な揺れから発電可能に」
    日経産業新聞　2019年7月11日 5面

  11. Nature創刊150周年記念シンポジウム　SDGs賞－受賞記事掲載
    「環境発電　─IoT社会のための自立的ワイヤレスセンサー」
    掲載誌：Nature ダイジェスト (2019年7月号)

  12. 東工大と東大　環境振動発電素子を広帯域化
    低閾値整流昇圧回路で実現
    日刊 電波新聞　2019年7月5日 8面

  13. 「環境振動発電素子の広帯域化に成功　－エネルギーハーベスティングへの応用に期待－」
    東工大 電気電子系 News，2019年7月1日

  14. 「環境振動発電素子の広帯域化に成功　－エネルギーハーベスティングへの応用に期待－」
    東工大ニュース，2019年6月27日

  15. 東工大とJSTなど、環境振動発電素子の広帯域化に成功
    日本経済新聞電子版　2019年6月26日

  16. 「環境振動発電素子の広帯域化に成功　～エネルギーハーベスティングへの応用に期待～」
    ＪＳＴプレスリリース（東工大と共同発表）　2019年6月26日

  17. Nature創刊150周年記念シンポジウムでの研究発表と受賞の動画映像がSpringer Natureの公式YouTubeで公開されました。
    Springer Nature 2019年5月14日

  18. "Putting that free energy around you to good use with minuscule energy harvesters"
    - Scientists at Tokyo Tech developed a micro-electromechanical energy harvester that allows for more flexibility in design, which is crucial for future IoT applications.
    研究者・留学生向け英文メールニュース「Tokyo Tech Bulletin No. 54」
    2019年3月26日配信

  19. 「東工大と東大　電荷層の分離に成功　ＭＥＭＳ振動発電素子」
    電子デバイス産業新聞 2019年3月21日 12面

  20. "A MEMS Device Harvests Vibrations to Power the IoT"
    Scientists in Japan have developed a MEMS energy harvester charged by an off-chip electret
    IEEE SPECTRUM, 4 Feb 2019 | 16:21 GMT

  21. 東工大と東大　新原理の振動発電素子を開発
    エネルギーハーベスティング技術性能向上に期待
    日刊 電波新聞　2019年2月1日 8面

  22. 東工大など、振動発電素子のエレクトレット外付けに成功
    日本経済新聞電子版　2019年1月28日

  23. 「材料選択や設計の自由度を向上：東工大、振動発電素子のエレクトレットを外付け」
    EE Times Japan　2019年1月28日

  24. 「振動発電素子のエレクトレット外付けに成功　－無線IoT端末電源として性能向上に期待－」
    東工大ニュース（日本語版）2019年1月28日
    「Putting that free energy around you to good use with minuscule energy harvesters」
    東工大ニュース（英語版）2019年1月28日

  25. 「振動発電素子のエレクトレット外付けに成功　－無線IoT端末電源として性能向上に期待－」
    ＪＳＴプレスリリース（東工大と共同発表）　2019年1月27日

  26. 「Putting that free energy around you to good use with minuscule energy harvesters」
    Eurekalert AAAS 2019年1月27日

  27. 「平成28年度「東工大挑戦的研究賞」受賞者決定」
    東工大挑戦的研究賞 学長特別賞 受賞　（山根 大輔）
    東工大ニュース　2016年8月19日
    東工大電気電子系 News　2016年9月7日

  28. 「MEMS構造をCMOS-LSIと一体化した加速度センサー開発 ―超小型で1G以下の高分解能検知を実現―」
    東工大ニュース　2015年12月8日

  29. 「東工大、1G以下の高分解検知を実現する超小型加速度センサーを開発」
    マイナビニュース、2015年12月1日

  30. TBSテレビ　「未来の起源」
    2015年2月1日、23時04分～23時10分
    （研究成果を紹介しました）

  31. 「東工大など　MEMSセンサー、超広域加速度を検知、1チップで実現」
    化学工業日報 2014年12月9日、朝刊8面

  32. 「検出範囲異なる加速度センサー　1チップ化、分解能 1／1000」
    日刊工業日報 2014年12月5日、朝刊19面
    日刊工業新聞　オンライン版　2014年12月5日

  33. 「加速度を超広域・高分解能で検知可能なMEMSセンサを開発」
    東工大ニュース　2014年12月4日

  34. 「4ミリ角の加速度センサー、体の動き、常時監視へ」
    日経産業新聞 2014年12月4日、10面

  35. 「東工大など、金メッキ使い加速度センサー、検出感度10倍に」
    日刊工業新聞　2014年3月6日、22面
    日刊工業新聞　オンライン版　2014年3月6日

  36. 「MEMSセンサー感度10倍を実現、東工大など、チップ面積は半減」
    化学工業日報 2014年2月12日、朝刊8面

  37. 「東工大など、微小加速度が検出可能な超高分解能MEMSセンサを開発」
    マイナビニュース、2014年2月12日

著書
  1. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi and Katsuyuki Machida:
    "4. Pulse-Current Electrodeposition of Gold" in Masato Sone and Kazuya Masu (Eds.) :"Novel Metal Electrodeposition and the Application toward MEMS Device," March 6th, 2019, IntechOpen, London, UK.
    DOI: 10.5772/intechopen.80845
  2. Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi and Katsuyuki Machida:
    "5. Electrodeposition of Gold Alloys and the Mechanical Properties" in Masato Sone and Kazuya Masu (Eds.) :"Novel Metal Electrodeposition and the Application toward MEMS Device," March 6th, 2019, IntechOpen, London, UK.
    DOI: 10.5772/intechopen.80755
  3. Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Hiroyuki Ito:
    "8. Multi-Physics Simulation Platform and Multi-Layer Metal Technology for CMOS-MEMS Accelerometer with Gold Proof Mass" in Masato Sone and Kazuya Masu (Eds.) :"Novel Metal Electrodeposition and the Application toward MEMS Device," March 6th, 2019, IntechOpen, London, UK.
    DOI: 10.5772/intechopen.81832
  4. Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Yota Ishizuka, Minami Teranishi, Takuma Suzuki, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Design of Au-Based Micro-Components with High Structure Stability for Applications in MEMS Inertial Sensors"
    Advances in Microelectronics Reviews, Vol. 2, IFSA Publishing, S. L. (Barcelona, Spain) pp. 23-48, Feb. 2019
  5. Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors"
    Advances in Microelectronics Reviews, Vol. 1, IFSA Publishing, S. L. (Barcelona, Spain) pp. 93-106, Dec. 2017
その他の発表文献等
  1. 山根 大輔
    部門記事「国際会議報告：The 12th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2017)」
    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, vol.137, no.7, P NL7_1, July 2017.
    DOI: http://doi.org/10.1541/ieejsmas.137.NL7_1
講演，
報告会，
展示会，他
  1. Cheng-Yao Lo, and Daisuke Yamane
    "High-Sensitivity Capacitive Tactile Sensor with Vertically Stacked Hollow Structures,"
    令和元年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会
    2020年3月13日, 東京工業大学すずかけ台キャンパス 大学会館, 1-62, pp.88.（ポスター）
  2. 比佐 健人，藤井敦司，角川 武蔵，柴田 隆行，永井 萌土，山根 大輔
    "単一細胞の光刺激反応と遺伝子発現の相関解析に向けた超並列微小溶液操作技術の開発,"
    令和元年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会
    2020年3月13日, 東京工業大学すずかけ台キャンパス 大学会館, 1-43, pp.69.（ポスター）
  3. 【招待講演】
    山根 大輔
    "IoT応用に向けた環境振動ＭＥＭＳエナジーハーベスタ技術"
    日本学術振興会 分子ナノテクノロジー第174委員会 第67回研究会
    2019年12月11日, 神奈川県横浜市青葉区 三菱ケミカル SIC.
  4. 【招待講演】
    山根 大輔
    "振動から電気を生み出す環境発電について"
    新エネルギー委員会レクチュア，時代を刷新する会
    2019年11月6日, 東京都千代田区 参議院議員会館 地下1階 B105会議室.
  5. 山根 大輔
    "超微弱振動から発電!:エネルギーハーベスタ用の低閾値電子回路技術,"
    イノベーション・ジャパン２０１９　～大学見本市＆ビジネスマッチング～
    （１）大学等シーズ展示ショートプレゼンテーション
    2019年8月30日, 東京ビッグサイト 青海展示棟Bホール会場B 0830-B-35.
    （２）大学等シーズ展示ゾーン　低炭素・エネルギー分野　デモ展示
    2019年8月29-30日, 東京ビッグサイト 青海展示棟BホールE-13.
  6. 【招待講演】
    山根 大輔
    "次世代IoT端末のための振動型ＭＥＭＳエナジーハーベスタ技術,"
    ナノ茶論第3回セミナー（2019/7/5）
    川崎市ナノ・マイクロ技術支援講座
    2019年7月5日, 新川崎・創造のもり「NANOBIC」２階会議室.
  7. 【招待講演】
    山根 大輔
    "次世代ＩｏＴ社会に向けたＭＥＭＳ振動発電素子,"
    応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 システムデバイスロードマップ委員会 (SDRJ)
    第５回　BC（Beyond CMOS/ERM（Emerging Research Materials））合同委員会
    2019年3月28日, 慶應義塾大学 矢上キャンパス.
  8. Cheng-Yao Lo, and Daisuke Yamane
    "Development of a Highly-sensitive Flexible Tactile Sensor for Assistance Robots,"
    平成30年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会
    2019年3月9日, 東京医科歯科大学 M&Dタワー, P011.（ポスター）
  9. 角川 武蔵，比佐 健人，山根 大輔，柴田 隆行，永井 萌土
    "藻類の走行性・遺伝子相関解析のための並列微小溶液操作技術の開発,"
    平成30年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会
    2019年3月9日, 東京医科歯科大学 M&Dタワー, P061.（ポスター）
  10. 山根 大輔
    "IoT社会のための微小電気機械システム,"
    Tokyo Tech Research Festival 2018
    2018年11月15日, 東京工業大学 百年記念館, 31.（ショットガンプレゼン＋ポスター）
  11. Cheng-Yao Lo, Kazuya Masu, and Daisuke Yamane
    "Development of a Highly-sensitive Flexible Tactile Sensor for Assistance Robots,"
    平成29年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会
    2018年3月9日, 東京工業大学すずかけ台キャンパス, 2-44.（ポスター）
  12. Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Cheng-Yao Lo,
    "Development of a Highly-sensitive Flexible Tactile Sensor for Assistance Robots,"
    平成28年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会
    2017年3月24日, 東京医科歯科大学 M&Dタワー, P-34.（ポスター）
  13. 平成24年度　第2回奨励会特別研究委員会
    （2012.9.4　　東京大学生産技術研究所）
  14. 平成22年度　第4回奨励会特別研究委員会
    （2011.2.22　東京大学生産技術研究所）
  15. 平成22年度　第2回奨励会特別研究委員会
    （2010.8.26　東京大学生産技術研究所）
  16. 平成20年度　第5回奨励会特別研究委員会
    （2009.2.20　東京大学生産技術研究所）
国際交流
  1. Nano and Micro Systems Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 19-21, 2014
  2. Nano and Micro Systems and Marathon Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 13-16, 2013
  3. Nano and Micro Systems and Marathon Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 14-16, 2012
    (Jointly organized and supported by National Tsing Hua University and CIRMM/IIS/IST-The University of Tokyo)
  4. Nano and Micro Systems and Marathon Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 16-18, 2011
    (Jointly organized and supported by National Tsing Hua University and CIRMM/IIS/IST-The University of Tokyo)
  5. Nano and Micro Systems and Marathon Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 17-19, 2010
    (Jointly organized and supported by National Tsing Hua University and CIRMM/IIS-The University of Tokyo)
海外大学等での
講演
  1. "CMOS-MEMS Accelerometer for sub-1g Detection"
    National United University, Miaoli, Taiwan, Dec.11, 2013



研究助成
  1. 日本学術振興会　基盤研究(C) [課題番号：19K05232]
    研究課題名：「セキュアIoTデバイスに向けたMEMS自壊設計技術の開発」
    （研究代表：2019.4 ～ 2022.3）
  2. JST戦略的創造研究推進事業「さきがけ」
    微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出　（CREST・さきがけ複合領域）
    研究課題名：「多層エレクトレット集積型CMOS-MEMS振動発電素子の創製」
    （研究代表：2017.10 ～ 2021.3）
  3. 令和元年度生体医歯工学共同研究拠点　共同研究プロジェクト
    研究課題名：「介護支援ロボット応用に向けた高感度フレキシブル触覚センサの開発」
    （台湾国立清華大学と共同研究）
    （研究分担：2019.5 ～ 2020.3）
  4. 令和元年度生体医歯工学共同研究拠点　共同研究プロジェクト
    研究課題名：「細胞解析用マイクロ流体デバイスの実用化に向けた振動試験法の確立」
    （豊橋技術科学大学と共同研究）
    （研究分担：2019.5 ～ 2020.3）
  5. H30年度生体医歯工学共同研究拠点　共同研究プロジェクト
    研究課題名：「介護支援ロボット応用に向けた高感度フレキシブル触覚センサの開発」
    （台湾国立清華大学と共同研究）
    （研究分担：2018.4 ～ 2019.3）
  6. H30年度生体医歯工学共同研究拠点　共同研究プロジェクト
    研究課題名：「細胞解析用マイクロ流体デバイスの実用化に向けた振動試験法の確立」
    （豊橋技術科学大学と共同研究）
    （研究分担：2018.4 ～ 2019.3）
  7. H29年度生体医歯工学共同研究拠点　共同研究プロジェクト
    研究課題名：「介護支援ロボット応用に向けた高感度フレキシブル触覚センサの開発」
    （台湾国立清華大学と共同研究）
    （研究分担：2017.4 ～ 2018.3）
  8. H29年度生体医歯工学共同研究拠点　共同研究プロジェクト
    研究課題名：「細胞解析用マイクロ流体デバイスの実用化に向けた振動試験法の確立」
    （豊橋技術科学大学と共同研究）
    （研究分担：2017.4 ～ 2018.3）
  9. 平成28年度「東工大挑戦的研究賞」学長特別賞（研究助成金あり）
    研究課題名：「マイクロ電気機械素子とその金属結晶粒制御によるナノＧ慣性センサの創出」
    （研究代表：2016.8 ～ 2017.3）
  10. H28年度生体医歯工学共同研究拠点　共同研究プロジェクト
    研究課題名：「介護支援ロボット応用に向けた高感度フレキシブル触覚センサの開発」
    （台湾国立清華大学と共同研究）
    （研究分担：2016.6 ～ 2017.3）
  11. 日本学術振興会　若手研究(B) [課題番号：15K17453]
    研究課題名：「結晶構造を制御した金合金めっきによるナノG検出法の開拓」
    （研究代表：2015.4 ～ 2018.3）
  12. 第16回 田中貴金属「貴金属に関わる研究助成金」
    MMS賞
    研究課題名：「微小加速度検出を可能にするMEMS加速度センサの開発」
    （研究代表：2015年奨学寄付金）
  13. 共同研究 半導体理工学研究センター
    研究課題名：「超低電力RF CMOS回路技術を用いた環境発電型センサネットワークシステムの研究」
    （研究分担：2014.4 ～ 2016.3）
  14. 日本学術振興会　挑戦的萌芽研究 [課題番号：25630138]
    研究課題名：「NEMS-Casimirマルチ物理センサの研究」
    （研究代表：2013.4 ～ 2015.3）
  15. 日本学術振興会　挑戦的萌芽研究 [課題番号：F25560190]
    研究課題名：「安全な自家造血幹細胞移植に向けたハイスルー・プット残存腫瘍細胞除去法の開発」
    （研究分担：2013.4 ～ 2015.3）
  16. 平成24年度東工大基金　「研究の種発掘」支援
    研究課題名：「Casimir効果による斥力/引力を用いたNEMSセンサの開発」
    （研究代表：2013.3.1 ～ 2014.2.28）
  17. 日本学術振興会　科学研究費補助金　研究活動スタート支援 [課題番号：24860027]
    研究課題名：「CMOSとMEMS/NEMSの融合による超小型・高光度テラヘルツ連続波光源の研究」
    （研究代表：2012.9 ～ 2013.3）
  18. 日本学術振興会　特別研究員奨励費 [課題番号：10J07437]
    研究課題名：「シリコンRF-MEMS技術による超小型無線システム」
    （研究代表：2010.4 ～ 2012.3）
担当講義
  1. 工学院　工学リテラシーI 【c】 2Q　（2019年度）
  2. 工学院　工学リテラシーI 【c】 1Q　（2019年度）
  3. 電気電子工学科　電気電子工学実験第二 B　1Q 　　 （2019年度）
  4. 電気電子工学科　電気電子工学実験第二 A　4Q 　　 （2019年度）
  5. 電気電子工学科　電気電子工学実験第二 B　1Q 　　 （2018年度）
  6. 電気電子工学科　電気電子工学実験第二 A　4Q 　　 （2018年度）
  7. 電気電子工学科　電気電子工学実験第二 B　1Q 　　 （2017年度）
  8. 電気電子工学科　電気電子工学実験第二 A　4Q 　　 （2017年度）
  9. 電気電子工学科　電気電子工学実験第二 A　4Q 　　 （2016年度）
  10. 電気電子工学科　学部2年　プログラム実習（a, b）　（2015年度）
  11. 電気電子工学科　学部2年　プログラム実習（a, b）　（2014年度）
  12. 電気電子工学科　学部2年　プログラム実習（b）　　（2013年度）
  13. 電気電子工学科　学部2年　プログラム実習（b）　　（2012年度）
会議運営
（国外）
  1. 第32回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議 （MNC 2019） 論文委員
    （2019.4-2019.12.31）
  2. 第31回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議 （MNC 2018） 論文委員
    （2018.4-2018.12.31）
  3. IEEE-NEMS 2017 Invited Session Organizer
    （2016.8-2017）
会議運営
（国内）
  1. 電気学会 平成31年度E部門総合研究会実行委員会　委員
    （平成31年2月1日～平成31年9月30日）
  2. 第32回　回路とシステムワークショップ　電子情報通信学会A分科会　実行委員，副世話人
    （平成30年10月～）
  3. 第31回　回路とシステムワークショップ　電子情報通信学会A分科会　実行委員，世話人
    （平成29年9月～平成30年10月）
  4. 第30回　回路とシステムワークショップ　電子情報通信学会A分科会　実行委員
    （平成28年7月～平成29年9月）
  5. 第36回　センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　論文委員会委員，分野２マイクロナノシステム副査
    （平成31年2月20日～平成32年1月31日）
  6. 第35回　センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　論文委員会委員
    （平成30年2月1日～平成31年1月31日）
  7. 第34回　センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　論文委員会委員
    （平成29年2月1日～平成30年1月31日）
  8. 第33回　センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　論文委員会委員
    （平成28年2月1日～平成29年1月31日）
  9. 第32回　センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　論文委員会委員
    （平成27年2月1日～平成28年1月31日）
  10. 第31回　センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　論文委員会委員
    （平成26年2月1日～平成27年1月31日）
  11. VDECデザイナーズフォーラム2019 幹事
  12. VDECデザイナーズフォーラム2018 幹事
  13. VDECデザイナーズフォーラム2017 幹事
  14. VDECデザイナーズフォーラム2016 幹事
  15. VDECデザイナーズフォーラム2015 幹事
  16. VDECデザイナーズフォーラム2014 幹事
学外活動
（学協会運営）
  1. 電気学会センサマイクロマシン部門（E部門） 論文委員会 委員　　　　（平成27年4月1日～）
  2. 応用物理学会　集積化MEMS技術研究会　運営委員　　　　　　　　　（平成24年9月10日～平成32年3月31日）
  3. 応用物理学会　集積化MEMS技術研究会　広報担当　　　　　　　　　（平成28年4月1日～平成32年3月31日）
  4. 応用物理学会　集積化MEMS技術研究会　会計・広報担当　　　　　　（平成24年9月10日～平成28年3月31日）
学外活動
（その他）
  1. エネルギーハーベスティングコンソーシアム（EHC）　オブザーバ　　（平成30年7月～）
  2. 大規模集積システム設計教育研究センター（VDEC）　協力教員　　　（平成25年12月1日～平成33年3月31日）
  3. 東京大学大学院理学系研究科　客員共同研究員　　　　　　　　　　　（平成25年9月～　）
  4. 東京大学生産技術研究所　協力研究員　　　　　　　　　　　　　　　（平成25年4月～　）
  5. NEDO委託業務　平成24年度「MEMS分野の革新的デバイスに関する調査及び技術戦略マップ改訂と国際化に向けた検討」技術戦略マップ策定委員会　委員　　　　　　　　　　 　　　　　（平成24年11月～平成25年3月）
学内活動
  1. 未来産業技術研究所　ネットワーク委員会　委員　（平成28年度）
  2. 精密工学研究所　ネットワーク委員会　委員　　　（平成27年度）
  3. 精密工学研究所　成健会幹事　　　　　　　　　　（平成26年度）
  4. 精密工学研究所　節電委員　　　　　　　　　　　（平成24年度）
所属学会
  1. IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers)　（正員：2013年 ～）
  2. 電気学会　（正員：2007年 ～，2019年10月より上級会員）
  3. 応用物理学会　（正会員：2012年 ～）
  4. 応用物理学会　集積化MEMS技術研究会　（一般会員：2012年 ～）
  5. 電子情報通信学会　（正員：2013年 ～）
その他 茨城県出身

趣味 : アルペンススキー，サッカー，ランニング

行ったことある国 : アメリカ、カナダ、オランダ、ベルギー、ドイツ、フランス、イギリス、スイス、 リヒテンシュタイン、オーストリア、チェコ、イタリア、モナコ、スペイン、シンガポール、タイ、台湾、韓国、パラオ、オーストラリア、ニュージーランド

E-mail yamane.d.aa【at】m.titech.ac.jp
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