山根 大輔 (やまね だいすけ)
所属 東京工業大学 科学技術創成研究院 未来産業技術研究所 益研究室
研究テーマ
  • 集積化CMOS-MEMS
  • 光・高周波MEMS
  • マイクロ流体デバイス
研究略歴
  • 2016年  4月  東京工業大学 科学技術創成研究院 未来産業技術研究所(学内組織改変に伴い所属変更) 助教 (現職)
  • 2012年  4月  東京工業大学 精密工学研究所 極微デバイス部門  助教
  • 2011年  6月  米国カリフォルニア大学ロサンゼルス校(UCLA)  客員研究員 (〜 2012年 3月)
  • 2011年  4月  日本学術振興会 特別研究員(PD) (〜 2012年 3月) 
  • 2011年  3月  東京大学大学院 工学系研究科 電気系工学専攻 博士課程修了(博士(工学))
  • 2010年  4月  日本学術振興会 特別研究員(DC2) (〜 2011年 3月)
  • 2008年  4月  東京大学電気系工学専攻G-COE  研究補佐員 (〜 2010年3月)
  • 2008年  3月  東京大学大学院 工学系研究科 電気系工学専攻 修士課程修了
  • 2007年  7月  (財)神奈川科学技術アカデミー    技術補佐員 (〜 2008年3月)
  • 2006年 11月  東京大学生産技術研究所      技術補佐員 (〜 2008年3月)
  • 2006年  3月  東京大学 工学部 電子工学科卒業
  • 2002年  4月  東京大学 理科一類入学
学位論文
    "A Study on SOI RF-MEMS Passive Devices by Functional Layer-wise Design Method"
       博士(工学)  2011年3月
査読付き原著論文
  1. Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone,
    "Tensile Tests of Micro-Specimens Made of Electroplated Gold,"
    Microelectronics Engineering, vol. 174, April 2017, pp. 6-10.
  2. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "High-Strength Electroplated Au-Cu Alloys as Micro-components in MEMS Devices,"
    Journal of The Electrochemical Society, vol. 164, issue 4, Feb. 2017, pp. D244-D247.
  3. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu and Katsuyuki Machida,
    "Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer,"
    Microelectronics Reliability, vol. 66, November 2016, pp. 78-84.
    DOI: 10.1016/j.microrel.2016.09.018
  4. Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Enhancement of Mechanical Strength in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide,"
    Electrochemistry Communications, vol. 72, November 2016, pp. 126-130.
    DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.elecom.2016.09.019
  5. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Brittle Fracture of Electrodeposited Gold Observed by Micro-Compression,"
    Materials Transactions, Vol. 57, No. 8, 2016, pp. 1257-1260.
    DOI: http://doi.org/10.2320/matertrans.MG201612
  6. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Compressive Strength,"
    Electrochemistry Communications, Vol.67, 2016, pp. 51-54.
    DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.elecom.2016.03.017
  7. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A 1-mG MEMS Sensor,"
    ECS Transactions, vol. 72, issue 3, 2016, pp. 7-14.
    DOI: 10.1149/07203.0007ecst
  8. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone
    "Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers,"
    Microelectronics Engineering, vol. 159, 2016, pp.90-93.
    DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2016.02.054
  9. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor,"
    Japanese Journal of Applied Physics, vol. 54, no. 8, 2015, pp. 087202.1-087202.4.
    DOI: 10.7567/JJAP.54.087202
  10. Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass,"
    Microsystem Technologies, vol. 22, 2016, pp. 459-464.
    (online version: published on April 26, 2015)
    DOI: 10.1007/s00542-015-2539-y
  11. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G MEMS Sensor,"
    ECS Transactions, vol. 66, issue 5, 2015, pp.131-138.
    DOI: 10.1149/06605.0131ecst
  12. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 亀井 将太, 益 一哉, 町田 克之
    「高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法」
    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), vol.135, no.4, pp.142-143, April 2015.
    DOI: http://dx.doi.org/10.1541/ieejsmas.135.142
  13. Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Kazuya Masu,
    "Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications,"
    ECS Transactions, vol. 61, issue 6, 2014, pp.21-39.
    DOI: 10.1149/06106.0021ecst
  14. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A capacitive CMOS-MEMS sensor designed by multi-physics simulation for integrated CMOS-MEMS technology,"
    Japanese Journal of Applied Physics, vol. 53, 2014, pp. 04EE15.1-7.
    (Special issue on SSDM 2013)
    DOI: 10.7567/JJAP.53.04EE15
  15. Motohiro Takayasu, Atsushi Shirane, Sangyeop Lee, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Xiaoyu Mi, Hiroaki Inoue, Fumihiko Nakazawa, Satoshi Ueda, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu,
    "An 8-ch, 20-V Output CMOS Switching Driver with 3.3-V Power Supply for Integrated MEMS Devices Controlling,"
    Japanese Journal of Applied Physics, vol. 53, 2014, pp. 04EE13.1-8.
    (Special issue on SSDM 2013)
    DOI: 10.7567/JJAP.53.04EE13
  16. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi and Kazuya Masu,
    "Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers,"
    Applied Physics Letters, Vol. 104, Issue 7, 074102, Feb. 2014.
    DOI: 10.1063/1.4865377
  17. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "An arrayed accelerometer device of a wide range of detection for integrated CMOS-MEMS technology,"
    Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 53, 027202, pp. 027202-1 - 027202-9, 2014.
    DOI: 10.7567/JJAP.53.027202
  18. 山根 大輔, サン ウィンストン, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法」
    電子情報通信学会論文誌C(エレクトロニクスソサエティ), Vol. J97-C, No. 1, pp.37-45, Jan. 2014.
  19. Daisuke Yamane, Yi-Chien Wu, Ting-Hsiang Wu, Hiroshi Toshiyoshi, Michael Teitell, and Pei-Yu Chiou,
    "Electrical impedance monitoring of photothermal porated mammalian cells,"
    Journal of Laboratory Automation, vol. 19, no. 1, pp.50-59, Feb. 2014.
    (online version: published on June 24, 2013)
    DOI: 10.1177/2211068213494390
  20. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Novel Sensor Structure and its Evaluation for Integratd Complementary Metal Oxide Semiconductor Microelectromechanical Systems Accelerometer,"
    Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 52, No. 6, pp. 06GL04, June 2013.
    (Special issue on MNC 2012)
    DOI: 10.7567/JJAP.52.06GL04
  21. 山根 大輔, サン ウィンストン, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用」
    電子情報通信学会論文誌C(エレクトロニクスソサエティ), Vol. J95-C, No. 10, pp. 219-227, Oct. 2012.
  22. Daisuke Yamane, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A Ku-band Dual-SPDT RF-MEMS Switch by Double-Side SOI Bulk Micromachining,"
    IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, vol.20, no.5, pp.1211-1221, Oct. 2011.
    DOI: 10.1109/JMEMS.2011.2162490
  23. 山根 大輔, 李 宥憲, 藤田 博之, 年吉 洋
    「メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作」
    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), vol.131, no.3, pp.130-131, March 2011.
  24. Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A 12GHz bulk-micromachined RF-MEMS phase shifter by SOI layer-separation design,"
    IEICE Electronics Express, vol.7, no.24, pp.1785-1789, Dec. 2010.
  25. Daisuke Yamane, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "An SOI bulk-micromachined dual SPDT RF-MEMS switch by layer-wise separation design of waveguide and switching mechanism,"
    IEICE Electronics Express, vol.7, no.2, pp.80-85, Jan. 2010.
国際会議論文
(招待講演 12件)
  1. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Lon-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017), June 18-22, 2017, Kaohsiung Exhibition Center, Kaohsiung, Taiwan. (accepted in Late News)
  2. Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry, Szeged, Hungary, April 23-26, 2017.(accepted)
  3. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, and Kazuya Masu,
    "MEMS inertial sensors for biomedical applications,"
    in Proc. 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017), UCLA Meyer & Renee Luskin Conference Center, Los Angeles, CA, USA, April 9-12, 2017.
  4. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Masato Sone and Kazuya Masu,
    "A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices,"
    in Proc. 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017), UCLA Meyer & Renee Luskin Conference Center, Los Angeles, CA, USA, April 9-12, 2017, MoP2.6, pp. 264-267.
  5. Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Cheng-Yao Lo,
    "A Study on Flexible Tactile Sensor for Assistance Robots,"
    in Proc. International Symposium on Biomedical Engineering, Akio Suzuki Memorial Hall, M&D Tower, Tokyo Medical and Dental University, Tokyo, Japan, November 10-11, 2016, pp. 126-127.
  6. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hideaki Nakajima, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices,"
    in Proc. 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016), ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto, Japan, November 8-11, 2016, 10D-5-1.
  7. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. IEEE Sensors 2016, Oct. 30 - Nov. 2, 2016, Orland, FL, USA., pp. 1162-1164.
  8. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Fine Grained Au Films with Controllable Mechanical Strength by Pulse Plating,"
    in Proc. The 2016 PRiME Meeting, Hawaii, USA, Oct. 2-7, 2016.
  9. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. 2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016), Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, Sept. 26-29, 2016, pp. 485-486.
  10. Toshifumi Konishi,Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System,"
    in Proc. 2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016), Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, Sept. 26-29, 2016, pp. 673-674.
  11. 【Invited】
    Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers,"
    in Proc. 2nd International Conference and Expo on Separation Techniques, Valencia, Spain, Sep. 26-28.
  12. Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    "Mechanical Behaviour of Electroplated Gold Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016), the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria, Sept. 19-23, 2016.
  13. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Controllable Mechanical Properties of Au Films by Pulse Electroplating for MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016), the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria, Sept. 19-23, 2016.
  14. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices,"
    in Proc. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016), the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria, Sept. 19-23, 2016.
  15. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Enhancement of Mechanical Properties in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide,"
    in Proc. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016), the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria, Sept. 19-23, 2016.
  16. 【Invited】
    Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Masato Sone, Yoshihiro Miyake,
    "Development of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's Disease,"
    in Proc. the 46th European Solid-State Device Re-search Conference (ESSDERC), Swisstech Convention Centre, Lausanne, Switzerland, Sep. 12-15, 2016, pp.99-104.
  17. 【Invited】
    Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Enhanced mechanical property of metallic films with supercritical carbon dioxide for micro-electrical-mechanical system accelerometer,"
    in Proc. The 15th Symposium on Development of Supercritical Fluid Technology and Application and The 2nd International Workshop on Supercritical Fluid Dyeing Technology, Kaohsiung, Taiwan, Sep. 8-10.
  18. 【Invited】
    Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Electrodeposited Gold for Next Generation MEMS Accelerometer Toward Medical Applications,"
    in Proc. Integrative Biology-2016, Berlin, Germany, July 18-20 (invited lecture).
  19. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyohi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016), Kanazawa, Japan, June 26 - 29, 2016, pp. 299-300.
  20. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A 1-mG MEMS Sensor,"
    in Proc. 229th ECS Meeting, San Diego, CA, USA, May 29 - June 3, 2016, MA2016-01(22):1147 (invited).
  21. Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Masakazu Sonobe, Takumi Kobayashi, Yamato Fukuta, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Study of Railroad Vehicle Control by Inertial Sensors,"
    in Proc. 11th World Congress on Railway Research, Milan, Italy, May 29 - June 3, 2016.
  22. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Pulse Electroplating of Au Films with Ultra High Strength,"
    in Proc. 229th ECS Meeting, San Diego, CA, USA, May 29- June 2, 2016, MA2016-01:1123.
  23. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016.
  24. Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Structure,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016.
  25. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Study of Gold Electroplating by Constant and Pulse Current Method with Non-Cyanide Gold Sulfite Electrolyte,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016.
  26. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Strength for Micro-Electrical-Mechanical System Devices,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016.
  27. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Preparation and Characterization of Gold Films by Electroplating with Supercritical Carbon Dioxide,"
    in Proc. ISE - Topical Meeting, Auckland, New Zealand, April 17-20, 2016.
  28. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Design of Spring Constant Arranged for MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. IEEE NEMS 2016,Matsushima Bay and Sendai, Miyagi, Japan, April 17-20, 2016, B3P-B-54.
  29. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology,"
    in Proc. IEEE Inertial Sensors 2016, Surf & Sand Resort, Laguna Beach, California, USA, Feb. 23-25, 2016, Late News, pp. 148-149.
  30. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Thin Films,"
    in Proc. TACT 2015 International Thin Films Conference, National Cheng Kung Univerisyt, Tainan, Taiwan, Nov, 15-18, 2015, pp. 513-516.
  31. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer,"
    in Proc. IEEE Sensors 2015, BEXCO, Busan, South Korea, Nov. 1-4, 2015, pp. 513-516.
  32. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology,"
    in Proc. 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, Sept. 27-30, 2015, Late News, pp. 786-787.
  33. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with Different Aspect Ratio for MEMS Devices,"
    in Proc. 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, Sept. 27-30, 2015, pp. 52-53.
  34. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Mechanical Properties of Electrodeposited Gold for MEMS Device,"
    in Proc. 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, Sept. 27-30, 2015, pp. 48-49.
  35. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, and Katsuyuki Machida,
    "Novel Gain-Controlled Sensor Circuits Designed by Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, Sept. 27-30, 2015, pp. 798-799.
  36. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layered Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers,"
    in Proc. 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), World Forum, Hague, Netherlands, Sept. 21-24, 2015, Wed-C-p81.
  37. Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "High Mechanical Strength Gold Micro-Components Fabricated by Pulse Electroplating,"
    in Proc. 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), World Forum, Hague, Netherlands, Sept. 21-24, 2015, Wed-C-p5.
  38. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tsu-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Sample Size Effect on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test,"
    in Proc. 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), World Forum, Hague, Netherlands, Sept. 21-24, 2015, Wed-C-p19.
  39. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology,"
    in Proc. 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015), World Forum, Hague, Netherlands, Sept. 21-24, 2015, Wed-C-p11.
  40. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, and Katsuyuki Machida,
    "A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. 25th Advanced Metallization Conference Asian Session (ADMETAplus2015), Sept. 16-18, 2015, Global Convention Plaza, Seoul National University, Seoul, Korea.
  41. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, and Katsuyuki Machida,
    "A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology,"
    in Proc. 32nd Advanced Metallization Conference (AMC2015), Sept. 9-11, 2015, the West Pickle Research Building (WPR) of The University of Texas at Austin, Austin, Texas, US.
  42. Masaharu Yoshiba, Chun-yi Chen, Tso-fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    "Compression Deformation of Micro-components Fabricated by FIB from Gold Electrodeposited Films,"
    in Proc. International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015), Sun Moon Lake, Taiwan, Aug. 16-20, 2015, P13.
  43. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G MEMS Inertial Sensor,"
    in Proc. International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015), Sun Moon Lake, Taiwan, Aug. 16-20, 2015, ID20.
  44. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Nano-G metrology system and its biomedical applications by CMOS-MEMS technology,"
    in Proc. 3rd International Conference on Integrative Biology, Melia Valencia, Valencia, Spain, Aug. 4-6, 2015, pp. 87.
  45. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Tatsuo Sato, Masato Sone,
    "Stability of Movable Structure Formed by Au Electroplating for MEMS Devices,"
    in Proc. 8th Int. Conf. on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2015), SUNTEC, Singapore, June 28 - July 3, 2015.
  46. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G MEMS Sensor,"
    in Proc. the 227th ECS Meeting, the Hilton Chicago, Chicago, Illinois, USA, May 24-28, 2015, pp. 1332.
  47. 【Invited】
    Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Kazuya Masu,
    "CMOS -MEMS -New Frontier of Multilevel Interconnect Technology-,"
    in Proc. 2015 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015), Kyoto Terrsa, Kyoto, Japan, April 14-17, 2015, pp. 201.
  48. Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A MEMS Energy Harvesting Device for Integrated CMOS-MEMS Technology,"
    in Proc. 27th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan, Nov. 4-7, 2014, pp. 6C-5-5.
  49. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A 1mG-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor,"
    in Proc. IEEE SENSORS 2014, Valencia Conference Center, Valencia, Spain, Nov. 2-5, 2014, pp. 1591-1594.
  50. Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, and Katsuyuki Machida,
    "A Novel Electromechanical Model of a MEMS Energy Harvesting Device for a Multi-physics Simulation Platform on a Circuit Simulator,"
    in Proc. Int. Conf. on Solid-State Devices and Materials (SSDM 2014), Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, , Sep. 8-11, 2014, pp. 100-101.
  51. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, and Katsuyuki Machida,
    "A Sub-1G Tri-axis MEMS Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,"
    in Proc. Int. Conf. on Solid-State Devices and Materials (SSDM 2014), Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan, Sep. 8-11, 2014, pp. 974-975.
  52. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,"
    in Proc. 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2014), EXCO, Daegu, Korea. June 29 - July 2, 2014, P2-55.
  53. Hiroyuki Ito, Shoichi Masui, Youichi Momiyama, Atsushi Shirane, Motohiro Takayasu, Yoshihiro Yoneda, Taiki Ibe, Taisuke Hamada, Sho Ikeda, Daisuke Yamane, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu,
    "2.3 pJ/bit Frequency-Stable Impulse OOK Transmitter Powered Directly by an RF Energy Harvesting Circuit with -19.5 dBm Sensitivity,"
    IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symposium, Tampa Convention Center, USA, pp.13-15, Jun. 1-3, 2014.
  54. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer,"
    in Proc. 2014 IEEE International Interconnect Technology Conference/Advanced Metallization Conference (IITC/AMC 2014), San Jose, CA, USA, May 20-23, 2014, pp.113-116.
  55. 【Invited】
    Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Kazuya Masu,
    "Integrated CMOS-MEMS Technology and its Application,"
    in Proc. the 225th Meeting of the Electrochemical Society (The 2nd More-than-Moore Symposium), Orland, Florida, USA, May 11-16, 2014, 1407.
  56. Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer,"
    in Proc. Symp. on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2014), Cannes, Cote d'Azur, France, April 1-4, 2014, pp. 69-72.
  57. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Sub-1G MEMS Accelerometer,"
    in Proc. IEEE SENSORS 2013, Baltimore, Maryland, USA, Nov. 3-6, 2013, pp. 171-174.
  58. Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Satoshi Maruyama, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Novel Sensor Circuits Design Using Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Technology,"
    2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013), Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan, Sep. 24-27, 2013, G-4-2.
  59. Motohiro Takayasu, Atsushi Shirane, Sang yeop Lee, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Mi Xiaoyu, Hiroaki Inoue, Fumihiko Nakazawa, Satoshi Ueda, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu,
    "An 8-ch, 20-V Output CMOS Switching Driver with 3.3-V Power Supply for Integrated MEMS Devices Controlling,"
    2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013), Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan, Sep. 24-27, 2013, PS-5-1.
  60. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "AN ARRAYED MEMS ACCELEROMETER WITH A WIDE RANGE OF DETECTION,"
    in Proc. 17th Int. Conf on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013), Barcelona, Spain, June 16-20, 2013, pp.22-25.
  61. Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "Evaluation of a Capacitive Sensor with a Gold Proof Mass Toward Integrated CMOS-MEMS Accelerometers,"
    25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012), Kobe Meriken Park Oriental Hotel, Kobe, Japan, Oct. 30 - Nov. 2, 2012, pp. 1B-5-4.
  62. Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "A Novel Sensor Structure and its Fabrication Process for Integrated CMOS-MEMS Accelerometer,"
    2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012), Kyoto Int. Conf. Center, Kyoto, Japan, Sep. 25-27, 2012 (Late News), pp.1134-1135.
  63. Toshifumi Konishi, Satoshi Maruyama, Makoto Mita, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A CMOS-MEMS Design Technique based on an Electrical Circuit Simulator with Hardware Description Language,"
    2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012), Kyoto Int. Conf. Center, Kyoto, Japan, Sep. 25-27, 2012, pp. 1120-1121.
  64. Daisuke Yamane, Yi-Chien Wu, Ting-Hsiang Wu, Hiroshi Toshiyoshi, Michael A. Teitell, and Pei-Yu Chiou,
    "Real-Time Monitoring of Photothermal Porated Mammalian Cells by Electric Impedance Sensors,"
    IEEE International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics, Banff, Alberta, Canada, August 6-9, 2012, pp. 220-221.
  65. 【Invited】
    Daisuke Yamane, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "Monolithic integration of passive RF components by MEMS,"
    IEEE 2011 International Symposium on VLSI Design, Automation and Test (VLSI-DAT), Hsinchu, Taiwan, Apr. 25-28, 2011.
  66. Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A Ku-Band RF-MEMS Phase Shifter with SOI Double-Side Bulk-Micromachining Design,"
    5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT), Perth, Australia, July 6-9, 2010, pp.68.
  67. Daisuke Yamane, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi and Shigeo Kawasaki,
    "Development of a Dual-SPDT RF-MEMS Switch for Ku-band,"
    IEEE Radio and Wireless Symposium (RWS), New Orleans, LA, USA, Jan.10-14, 2010, pp.432-435.
  68. Daisuke Yamane, Kiyotaka Yamashita, Harunobu Seita, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi and Shigeo Kawasaki,
    "A Dual-SPDT RF-MEMS Switch on a Small-Sized LTCC Phase Shifter for Ku-band operation,"
    Asia-Pacific Microwave Conference (APMC), Singapore, Dec. 7-10, 2009, pp.555-558.
  69. Daisuke Yamane, Kiyotaka Yamashita, Harunobu Seita, Hiroshi Toshiyoshi, and Shigeo Kawasaki,
    "A Prototype of Ku-Band Small-Sized LTCC Phase Shifter with RF-MEMS Switches,"
    2009 Thailand-Japan MicroWave (TJMW2009), King Mongkut’s University of Technology North Bangkok Bangkok, Thailand, August 20-21, 2009, FR7-5.
  70. Kazuhiro Takahashi, Makoto Mita, Muneki Nakada, Daisuke Yamane, Akio Higo, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "Development of Multi-user Multi-chip SOI CMOS-MEMS Process,"
    IEEE MEMS, Sorrent, Italy, Jan. 25-29, 2009, pp.701-704.
  71. Daisuke Yamane, Harunobu Seita, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "A 12-GHz DPDT RF MEMS Switch with Layer-wise Waveguide/Actuator Design Technique,"
    IEEE MEMS, Sorrent, Italy, Jan. 25-29, 2009, pp.888-891.
  72. Daisuke Yamane, Takeshi Yamamoto, Kenichiro Urayama, Kiyotaka Yamashita, Hiroshi Toshiyoshi, and Shigeo Kawasaki,
    "A Phase Shifter by LTCC Substrate with an RF-MEMS Switch,"
    The 38th European Microwave Conference (EuMC), Amsterdam, Netherlands, Oct.28-31, 2008, pp.611-613.
  73. David Dubuc, Daisuke Yamane, Zhang Rui, Yuheon Yi, Katia Grenier, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "Modelling and Design Guidelines of Metamaterial-based Artificial Dielectric for the Miniaturization of Microwave Passive Circuit,"
    Metamaterials' 2008, Pamplona, Spain, Sep. 21-26, 2008.
  74. Shinji Yamashita and Daisuke Yamane,
    "Stabilization of mode-locked fiber lasers using Bismuth-oxide-based highly nonlinear fiber,"
    Topical Meeting on Optical Amplifiers and Their Applications (OAA 2006), Whistler, Canada, June 25, 2006, no. OMD6.
国内学会,国際・国内シンポジウムなど
(招待講演 6件)
  1. Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Cheng-Yao Lo,
    "Development of a Highly-sensitive Flexible Tactile Sensor for Assistance Robots,"
    平成28年度生体医歯工学共同研究拠点成果報告会 2017年3月24日, 東京医科歯科大学, P-34.
  2. 鈴木 拓真, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-11].
  3. 橘 航一朗, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-12].
  4. 飯塚 和希, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「振動型エネルギーハーベスティングデバイスのためのSPICE系統合設計の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-13].
  5. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 中島 英亮, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(1)」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-14].
  6. 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(2)」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-15].
  7. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-16].
  8. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-17].
  9. 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-18].
  10. 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「移動体制御による慣性センサ評価系の構築」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日−17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-19].
  11. 【招待講演】
    曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之,
    「微小電子機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術 」
    第6回CSJ化学フェスタ, 2016年11月15日.
  12. 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PS-020].
  13. 葭葉 将治, Chen Chun-Yi, 名越 貴志, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「高感度MEMS 加速度センサー用金電気めっきの変形挙動 および強度の結晶方位依存性評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PS-002].
  14. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PS-017].
  15. 柳田 佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chu-Yi, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「微小引張試験片を用いたMEMS 用金めっき材料の機械的特性の評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PS-003].
  16. 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PM-006].
  17. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉,
    「RC発振器型高感度容量検出回路」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [24am2-E-4].
  18. 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-007].
  19. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PM-008].
  20. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-003].
  21. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-001].
  22. 【招待講演】
    曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 陳 君怡, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之,
    「高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価」
    日本学術振興会・第172委員会, 2016年10月21日.
  23. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 益 一哉,
    「RC発振器型容量検出回路の高感度化の検討」
    電子情報通信学会ソサイエティ大会, 2016年9月20日−23日, 北海道大学札幌キャンパス, 北海道.
  24. Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    「High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日−16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [15a-B10-13].
  25. 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日−16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-1].
  26. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法(I)」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日−16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [15p-B10-8].
  27. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日−16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-3].
  28. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「1mG以下検出へ向けた積層メタルMEMS加速度センサの基礎検討」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日−16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-2].
  29. 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価」
    LSIとシステムのワークショップ, 2016年5月16日−2016年5月17日,
    東京大学 生産技術研究所 総合研究実験棟(An棟) 2階 コンベンションホール
  30. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日−22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-17].
  31. 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日−22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-18].
  32. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解金めっきで作製した Ti/Au 微小カンチレバーの構造安定性」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日−22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-19].
  33. Haochun Tang,Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    「Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日−22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-20].
  34. 石塚 陽大, 柳田 佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ圧縮試験による金 / チタン積層構造の機械的特性評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日−22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-21].
  35. 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ曲げ試験による電析金薄膜の機械的特性評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日−22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-23].
  36. 葭葉 将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ圧縮試験による MEMS 用金電気めっきの機械的特性の評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日−22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-25].
  37. 劉 安h, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討」
    電子情報通信学会2016年総合大会, 2016年3月15日-18日, 九州大学伊都キャンパス, 福岡県福岡市, C-12-13.
  38. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討」
    電子情報通信学会2016年総合大会, 2016年3月15日-18日, 九州大学伊都キャンパス, 福岡県福岡市, C-10-16.
  39. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ), 新潟県新潟市, 29pm3-PM-5.
  40. 小西 敏文, 山根 大輔, 高安 基大, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ), 新潟県新潟市, 29pm2-D-4.
  41. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「移動体制御における慣性センサ適用性の検討」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ), 新潟県新潟市, 30pm1-D-6.
  42. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G〜20G集積化MEMS慣性センサ」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ), 新潟県新潟市, 29pm3-PM-2.
  43. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G〜20G集積化MEMS加速度センサの基本評価」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-1].
  44. 小西 敏文, 山根 大輔, 高安 基大, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-2].
  45. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-3].
  46. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, 小西 敏文, 松島 隆明, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2015年7月31日, NHK放送技術研究所, 東京都世田谷区, IMWS-06-P7.
  47. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「MEMS慣性センサを用いた移動体制御の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2015年7月31日, NHK放送技術研究所, 東京都世田谷区, IMWS-06-P6.
  48. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 亀井 将太, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「慣性センサを用いた移動体制御の基礎検討」
    平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 九州大学医学部百年講堂, 2015年7月2日−3日, PHS-15-18/CHS-15-31/MSS-15-3/BMS-15-24, pp.5-8.
  49. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    「電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価」
    平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 九州大学医学部百年講堂, 2015年7月2日−3日, PHS-15-20/CHS-15-33/MSS-15-5/BMS-15-26, pp.15-18.
  50. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1G検出可能な3軸MEMS加速度センサの基礎検討」
    平成27年電気学会全国大会, 東京都市大学世田谷キャンパス, 2015年3月24日−26日, 13P-A3 3-113.
  51. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討」
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 分科企画シンポジウム 13半導体, 2015年3月11日−14日, 東海大学 湘南キャンパス [12p-D15-3], pp. 17-189.
  52. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「エネルギーハーべスティングデバイスの検討(5)」
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年3月11日−14日, 東海大学 湘南キャンパス [11p-A29-5], pp. 12-125.
  53. Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    "MEMS for sensing sub-1G"
    The First Joint Workshop on Electrical Engineering between Tokyo Tech & KAIST, KAIST, Korea, Nov.21, 2014, pp. 19
  54. 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「回路シミュレータを用いたMEMSエネルギーハーベスティングデバイスの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム(同時開催:第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム), 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C1].
  55. 松島 隆明, 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「Au積層形成技術による3軸MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム(同時開催:第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム), 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C5].
  56. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 亀井 将太, 益 一哉, 町田 克之
    「高感度静電容量型センサにおけるブラウニアン・ノイズ評価の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム(同時開催:第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム), 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C4].
  57. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「集積化CMOS-MEMS技術によるSub-1G加速度センサの基礎検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム(同時開催:第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム), 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C3].
  58. 亀井 将太, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS−MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術), 2014年9月17日−20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-4], pp. 13-065.
  59. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル構造による3軸加速度センサの検討」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術), 2014年9月17日−20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-5], pp. 13-066.
  60. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「エネルギーハーべスティングデバイスの検討(4)」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術), 2014年9月17日−20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-6], pp. 13-067.
  61. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P7.
  62. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 亀井 将太, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P5.
  63. 山根 大輔, 亀井 将太, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「集積化CMOS-MEMS加速度センサに向けたSub-1Gセンサ」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P4.
  64. 山根 大輔, 松島 隆明, 小西 敏文, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討」
    平成26年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 東京大学生産技術研究所, 2014年5月27日−28日, MSS-14-002.
  65. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討」
    平成26年電気学会全国大会, 愛媛大学城北キャンパス, 2014年3月18日−20日, 53-C1 3-128.
  66. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハーベスティングデバイスの検討(2)」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日−20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-3, pp. 13-157.
  67. 小西 敏文, 加賀谷 賢, 山根 大輔, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 益 一哉, 町田 克之, 年吉 洋,
    「エネルギーハーベスティングデバイスの検討(3)」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日−20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-4, pp. 13-158.
  68. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサ-2軸MEMS加速度センサの検討-」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日−20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-2, pp. 13-156.
  69. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1G MEMS加速度センサの検討」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日−20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-1, pp. 13-155.
  70. 伊藤 浩之, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「RF受信機のためのアレイ型MEMS共振器ミキサの検討」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日−20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-5, pp. 13-159.
  71. 高安 基大, 白根 篤史, 李 尚曄, 山根 大輔, 伊藤 浩之, ミイ シャオユウ, 井上 広章. 中澤 文彦, 上田 知史, 石原 昇, 益 一哉,
    「CMOS技術による8-ch 20-V出力MEMSドライバ回路」
    電子情報通信学会 第34回 アナログRF研究会, 2013年11月18日-19日, 東京工業大学 大岡山キャンパス 東工大蔵前会館, 東京都, Vol. RF2013-2, p. 7.
  72. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハー・xストデバイスの小型化の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-003].
  73. 伊藤 浩之, 小西 敏文, 山根 大輔, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「ミキサファーストRF 受信機のためのMEMS 共振器ミキサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[7AM2-E-8].
  74. 高安 基大, 白根 篤史, 李 尚曄, 山根 大輔, 伊藤 浩之, ミイ シャオユウ, 井上 広章. 中澤 文彦, 上田 知史, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS 制御用高耐圧CMOS スイッチングドライバ回路」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[7AM2-E-6].
  75. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 丸山 智史, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いた集積化CMOS-MEMS技術のためのセンサ回路の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-001].
  76. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの特性評価」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-002].
  77. 【招待講演】
    小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 町田 克之, 益 一哉, 年吉 洋
    「CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析 -集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-」
    電子情報通信学会 シリコン・フォトニクス研究会, 2013年10月18日, 東京工業大学大岡山キャンパス [SIPH2013-99].
  78. 加賀谷 賢, 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハーベストデバイスの検討(1)」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-5], pp. 13-204.
  79. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 丸山 智史, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-3], pp. 13-202.
  80. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-4], pp. 13-203.
  81. 佃 真文, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討」
    平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会, 2013年8月8日, 東京工科大学 蒲田キャンパス [MSS-13-001].
  82. 小西 敏文, 丸山智史, 山根 大輔, 松島 隆明, 町田 克之, 益 一哉, 年吉 洋
    「回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMSのための統合設計環境の構築」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2013年7月26日, 大阪府立大学21世紀科学研究機構「植物工場研究センター」, P9.
  83. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「金メッキ集積化CMOS-MEMSによるアレイ型加速度センサの小型化」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2013年7月26日, 大阪府立大学21世紀科学研究機構「植物工場研究センター」, P7.
  84. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 本橋 剛, 松島 隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの評価」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-4], pp. 22-015.
  85. 小西 敏文, 山根 大輔, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの設計」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-5], pp. 22-016.
  86. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの検討」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-6], pp. 22-017.
  87. 【招待講演】
    町田 克之, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 益 一哉
    "集積化CMOS-MEMS技術の検討,"
    平成25年度電気学会全国大会・シンポジウム(S24)ワイヤレス通信応用RF-MEMS技術, 2013年3月22日, 名古屋大学 [3-S24-1].
  88. 小西 敏文, 丸山 智史, 三田 信, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 藤田 博之, 年吉 洋,
    「ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  89. 山根 大輔, 本橋 剛, 小西敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  90. 本橋 剛, 小西敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「0.35μmCMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  91. 加賀谷 賢, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「統合設計技術のためのMEMS加速度センサのモデルの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  92. 松島 隆明, 小西 敏文, 本橋 剛, 山根 大輔, 伊藤, 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田, 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討(3)」
    2012年秋期第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛大学・松山大学, 2012年9月11日-14日(合同セッションL, 「MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), pp. 22-006.
  93. 本橋 剛, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討(4)」
    2012年秋期第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛大学・松山大学, 2012年9月11日-14日(合同セッションL, 「MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), pp. 22-007.
  94. 山根 大輔, 本橋 剛, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ 平成24年7月20日, 岩手県雫石・盛岡セイコー工業株式会社, P5.
  95. 山根 大輔, Winston Sun, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「SOIレイヤ分離設計によるモノリシックRF-MEMS移相器」
    電気学会センサ・マイクロマシン部門 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, タワーホール船堀, 東京都, 平成23年9月26-27日, A2-1.
  96. 山根 大輔, 藤田 博之, 年吉 洋
    「機能レイヤ分離設計によるSOI RF-MEMS受動素子に関する研究」
    固体エレクトロニクス・光エレクトロニクス研究会, グローバルCOE「若手研究」報告会
    東京大学工学部2号館, 東京都, 平成23年3月2日.
  97. 山根 大輔, Winston Sun, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「Ku帯デュアルSPDT RF-MEMSスイッチの開発」
    電気学会センサ・マイクロマシン部門 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, くにびきメッセ, 島根県松江市, 平成22年10月14-15日, B5-4.
  98. Winston Sun, Daisuke Yamane, Yuheon Yi, Hiroshi. Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita, Kiyotaka Yamashita,
    “A Loaded-Line Phase Shifter Using MEMS Switches,”
    電気学会センサ・マイクロマシン部門 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, タワーホール船堀, 東京都, 平成21年10月15-16日.
  99. 張 鋭, 山根 大輔, 藤田 博之, 年吉 洋
    「RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作」
    電気学会E部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 東京工科大学2009年7月23-24日, MSS-09-3, pp.13-17.
  100. 山根 大輔, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 年吉 洋
    「Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価」
    平成21年電子情報通信学会全国大会, 愛媛大学 2009年3月17-20日.
  101. 山根 大輔
    「RF-MEMSスイッチの導波路/アクチュエータ分離設計・試作」
    The Second Active Phased Array Antenna Symposium, 東京大学生産技術研究所, 平成20年3月26日.
  102. 山根 大輔, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「導波路/アクチュエータのレイヤ分離構造設計技術によるRF-MEMSスイッチ」
    平成20年電気学会全国大会, 福岡工業大学, 2008年3月19-21日.
  103. 山本 剛司, 清田 春信, 川崎 繁男, 山下 清隆, 石崎 俊雄, 田村 昌也, 山根 大輔, 年吉 洋, 篠原 真毅, 三谷 友彦
    「LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作」
    電子情報通信学会マイクロ波研究会(MW研究会), 福井大学文京キャンパスアカデミーホール, 2007年12月18日.
  104. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Kazuhiro Takahashi, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "Microwave Switches by MEMS Technology and their Application to Phase-Shifter,"
    Second Japan-Taiwan Workshop on Future Frequency Control Devices, Tamkang University, Taiwan, Dec. 5, 2007.
  105. 【Invited】
    Daisuke Yamane, Kazuhiro Takahashi, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi,
    "RF-MEMS Switches for 5.8 GHz Phase Shifter Application,"
    Int. Workshop on Piezo-devices based on Latest MEMS Technologies, Nihon University, Tokyo, Nov. 26-27, 2007.
  106. 山根 大輔, 高橋 一浩, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ」
    平成19年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会, 筑波大学 大学会館, 平成19年7月2-3日.
  107. 山根 大輔, Winston Sun, 年吉 洋
    「RF-MEMSスイッチに関する研究動向報告」
    The First Active Phased Array Antenna Symposium, 東京大学生産技術研究所, 平成19年3月29日.
受賞等
  1. IEEE SENSORS 2016 Best Industrial Paper Award
    IEEE Sensors Council
    (2016年11月2日)
    論文タイトル:「A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology」
    受賞者:Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Masato Sone, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi
  2. 最優秀技術展示賞
    電気学会センサ・マイクロマシン部門
    (2016年10月26日)
    論文タイトル:「ナノ慣性計測デバイス・システム技術とその応用創出」
    受賞者:東京工業大学 益研究室, 三宅研究室, 曽根研究室
  3. 平成28年度「東工大挑戦的研究賞」 学長特別賞
    東京工業大学
    (2016年7月29日)
    論文タイトル:「マイクロ電気機械素子とその金属結晶粒制御によるナノG慣性センサの創出」
    受賞者:山根 大輔
  4. 最優秀ポスター賞(学生部門)
    電子情報通信学会集積回路研究専門委員会 LSIとシステムのワークショップ
    (2016年5月17日)
    論文タイトル:「小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価」
    受賞者:高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎,石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
  5. 研究奨励賞
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    (2015年3月19日)
    論文タイトル:「MEMS慣性センサを用いた移動体制御の検討」
    受賞者:高安基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  6. 第16回 TANAKAホールディングス株式会社「貴金属に関わる研究助成金」 MMS賞
    (2015年3月25日)
    研究名称:「微小加速度検出を可能にするMEMS加速度センサの開発」
    受賞者:山根 大輔
  7. 優秀論文発表賞
    平成26年電気学会全国大会
    (2015年3月25日)
    発表論文名:「MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討(論文番号:3-128)」
    受賞者:山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
  8. Poster Award
    第74回応用物理学会秋季学術講演会半導体A(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化)
    (2013年9月18日)
    論文タイトル:「アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価」
    受賞者:山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 町田 克之, 益 一哉
  9. 総合研究会優秀論文発表賞
    平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会
    (2013年8月8日)
    論文タイトル:「アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討」
    受賞者:佃 真文, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
  10. 優秀論文賞
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回「集積化MEMSシンポジウム」
    (2012年10月23−24日)
    論文タイトル:「ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術」
    受賞者:小西 敏文, 丸山 智史, 三田 信, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉, 藤田 博之, 年吉 洋
  11. 最優秀学生論文賞(Gold Prize in the Student Paper Competition)
    論文タイトル:"A Dual-SPDT RF-MEMS Switch on a Small-Sized LTCC Phase Shifter for Ku-band Operation"
    Asia-Pacific Microwave Conference (APMC)
    Singapore, Dec. 7th-10th, 2009
    論文タイトル:「A Dual-SPDT RF-MEMS Switch on a Small-Sized LTCC Phase Shifter for Ku-band operation」
    受賞者:山根 大輔
報道発表
  1. 「平成28年度「東工大挑戦的研究賞」受賞者決定」
    東工大挑戦的研究賞 学長特別賞 受賞 (山根 大輔)
    東工大ニュース 2016年8月19日
    東工大電気電子系 News 2016年9月7日

  2. 「MEMS構造をCMOS-LSIと一体化した加速度センサー開発 ―超小型で1G以下の高分解能検知を実現―」
    東工大ニュース 2015年12月8日

  3. 「東工大、1G以下の高分解検知を実現する超小型加速度センサーを開発」
    マイナビニュース、2015年12月1日

  4. TBSテレビ 「未来の起源」
    2015年2月1日、23時04分〜23時10分
    (研究成果を紹介しました)

  5. 「東工大など MEMSセンサー、超広域加速度を検知、1チップで実現」
    化学工業日報 2014年12月9日、朝刊8面

  6. 「検出範囲異なる加速度センサー 1チップ化、分解能 1/1000」
    日刊工業日報 2014年12月5日、朝刊19面
    日刊工業新聞 オンライン版 2014年12月5日

  7. 「加速度を超広域・高分解能で検知可能なMEMSセンサを開発」
    東工大ニュース 2014年12月4日

  8. 「4ミリ角の加速度センサー、体の動き、常時監視へ」
    日経産業新聞 2014年12月4日、10面

  9. 「東工大など、金メッキ使い加速度センサー、検出感度10倍に」
    日刊工業新聞 2014年3月6日、22面
    日刊工業新聞 オンライン版 2014年3月6日

  10. 「MEMSセンサー感度10倍を実現、東工大など、チップ面積は半減」
    化学工業日報 2014年2月12日、朝刊8面

  11. 「東工大など、微小加速度が検出可能な超高分解能MEMSセンサを開発」
    マイナビニュース、2014年2月12日

講演等
  1. 平成24年度 第2回奨励会特別研究委員会
    (2012.9.4  東京大学生産技術研究所)
  2. 平成22年度 第4回奨励会特別研究委員会
    ・i2011.2.22 東京大学生産技術研究所)
  3. 平成22年度 第2回奨励会特別研究委員会
    (2010.8.26 東京大学生産技術研究所)
  4. 平成20年度 第5回奨励会特別研究委員会
    (2009.2.20 東京大学生産技術研究所)
国際交流
  1. Nano and Micro Systems Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 19-21, 2014
  2. Nano and Micro Systems and Marathon Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 13-16, 2013
  3. Nano and Micro Systems and Marathon Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 14-16, 2012
    (Jointly organized and supported by National Tsing Hua University and CIRMM/IIS/IST-The University of Tokyo)
  4. Nano and Micro Systems and Marathon Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 16-18, 2011
    (Jointly organized and supported by National Tsing Hua University and CIRMM/IIS/IST-The University of Tokyo)
  5. Nano and Micro Systems and Marathon Workshop, National Tsing Hua University, Taiwan, Dec. 17-19, 2010
    (Jointly organized and supported by National Tsing Hua University and CIRMM/IIS-The University of Tokyo)
他大学等での
講演
  1. "CMOS-MEMS Accelerometer for sub-1g Detection"
    National United University, Miaoli, Taiwan, Dec.11, 2013
研究助成
  1. 生体医歯工学共同研究拠点 共同研究プロジェクト(台湾国立清華大学と共同研究)
    (研究代表:2016.6 〜 2017.3)
  2. 日本学術振興会 若手研究(B) [課題番号:15K17453]
    (研究代表:2015.4 〜 2018.3)
  3. 第16回 田中貴金属「貴金属に関わる研究助成金」
    MMS賞
    (研究代表:2015年奨学寄付金)
  4. 共同研究 半導体理工学研究センター 「超低電力RF CMOS回路技術を用いた環境発電型センサネットワークシステムの研究」
    (研究分担:2014.4 〜 2016.3)
  5. 日本学術振興会 挑戦的萌芽研究 [課題番号:25630138]
    (研究代表:2013.4 〜 2015.3)
  6. 日本学術振興会 挑戦的萌芽研究 [課題番号:F25560190]
    (研究分担:2013.4 〜 2015.3)
  7. 平成24年度東工大基金 「研究の種発掘」支援
    (研究代表:2013.3.1 〜 2014.2.28)
  8. 日本学術振興会 科学研究費補助金 研究活動スタート支援 [課題番号:24860027]
    (研究代表:2012.9 〜 2013.3)
  9. 日本学術振興会 特別研究員奨励費 [課題番号:10J07437]
    (研究代表:2010.4 〜 2012.3)
担当講義
  1. 電気電子工学科 電気電子工学実験第二 A 1Q,4Q  (平成29年度)
  2. 電気電子工学科 電気電子工学実験第二 A 4Q    (平成28年度)
  3. 電気電子工学科 学部2年 プログラム実習(a, b)   (平成27年度)
  4. 電気電子工学科 学部2年 プログラム実習(a, b)   (平成26年度)
  5. 電気電子工学科 学部2年 プログラム実習(b)     (平成25年度)
  6. 電気電子工学科 学部2年 プログラム実習(b)     (平成24年度)
会議運営
(国外)
  1. IEEE-NEMS 2017 Invited Session Organizer (2016.8-2017)
会議運営
(国内)
  1. 第29回 回路とシステムワークショップ 電子情報通信学会A分科会 実行委員 (平成28年7月〜)
  2. 第34回 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会委員 (平成29年2月1日〜平成30年1月31日)
  3. 第33回 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会委員 (平成28年2月1日〜平成29年1月31日)
  4. 第32回 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会委員 (平成27年2月1日〜平成28年1月31日)
  5. 第31回 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会委員 (平成26年2月1日〜平成27年1月31日)
  6. VDECデザイナーズフォーラム2016 幹事
  7. VDECデザイナーズフォーラム2015 幹事
  8. VDECデザイナーズフォーラム2014 幹事
学外活動
(学協会運営)
  1. 電気学会センサマイクロマシン部門(E部門) 論文委員会 委員  (平成27年4月1日〜)
  2. 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 運営委員         (平成24年9月10日〜平成28年3月31日)
  3. 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 広報担当         (平成28年4月1日〜平成30年3月31日)
  4. 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 会計・広報担当     (平成24年9月10日〜平成28年3月31日)
学外活動
(その他)
  1. 大規模集積システム設計教育研究センター(VDEC) 協力研究員  (平成25年12月1日〜平成31年3月31日)
  2. 東京大学大学院理学系研究科 客員共同研究員            (平成25年9月〜 )
  3. 東京大学生産技術研究所 協力研究員            (平成25年4月〜 )
  4. NEDO委託業務 平成24年度「MEMS分野の革新的デバイスに関する調査及び技術戦略マップ改訂と国際化に向けた検討」技術戦略マップ策定委員会 委員                        (平成24年11月〜平成25年3月)
学内活動
  1. 未来産業技術研究所 ネットワーク委員会 委員 (平成28年度)
  2. 精密工学研究所 ネットワーク委員会 委員    (平成27年度)
  3. 精密工学研究所 成健会幹事             (平成26年度)
  4. 精密工学研究所 節電委員              (平成24年度)
所属学会
  1. IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers) (正員:2013年 〜)
  2. 電気学会 (正員:2007年 〜)
  3. 応用物理学会 (正会員:2012年 〜)
  4. 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 (一般会員:2012年 〜)
  5. 電子情報通信学会 (正員:2013年 〜)
その他 生年月日 : 1982年o月oo日 茨城県出身

趣味 : アルペンススキー,サッカー,ランニング

行ったことある国 : アメリカ、カナダ、オランダ、ベルギー、ドイツ、フランス、イギリス、スイス、 リヒテンシュタイン、オーストリア、チェコ、イタリア、モナコ、スペイン、シンガポール、タイ、台湾、韓国、パラオ、オーストラリア、ニュージーランド
E-mail yamane.d.aa【at】m.titech.ac.jp
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