・Journals

  1. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Deformation behavior of electroplated gold composed of nano-columnar grains embedded in micro-columnar textures," Materials Letters, Vol.202, Sep.2017, pp.82-85.
  2. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Takashi Nasgoshi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Micro-Bending Testing of Electrodeposited Gold for Applications as Movable Components in MEMS Devices," Microelectronics Engineering, vol.180, Aug.2017, pp.15-19.
  3. Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone, "Tensile Tests of Micro-Specimens Made of Electroplated Gold," Microelectronics Engineering, vol.174, April 2017, pp.6-10.DOI: 10.1016/j.mee.2016.12.004.

・International Conferences

  1. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Young’s Modulus Evaluation of Ti/Au Micro-Cantilevers by Au Electrodeposition," in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-P10.
  2. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Mechanical Strengthening of Gold Micro-Cantilever by Control of Electroplating Conditions," in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, E6-P26.
  3. Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Long-Term Vibration Test and Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever as MEMS Components," in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-P09.
  4. Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Temperature Structure Stability of Multi-Ti/Au-Layered Micro-Cantilever," in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-P08.
  5. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Strategies of Mechanical Strengthening in Electroplated Au Materials," in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, E6-P02.
  6. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, "Sub-1mG Inertial Sensors by Multi-layer Metal Technology," in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-05. (invited)
  7. Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Micro-Mechanical Property Enhancement of Metals Electroplated in Electrolyte Containing Supercritical CO2," in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, E6-12. (invited)
  8. Masato Sone, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, "Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometers," in Proc. IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017, Taipei Nangang Exhibition Hall, Taipei, Taiwan, Nov. 5- 9, 2017, F5-02. (invited)
  9. Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Defect-Free and Uniform Electroplating of Gold on Titanium Surface for Design of MEMS Components," in Proc. TACT2017 International Thin Films Conference, National Dong Hwa University, Hualien, Taiwan, Oct. 15-18, 2017.
  10. Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Mechanical Property Anisotropy of Pure Gold Evaluated by Micro-compression Test," in Proc. 43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017), Braga, Portugal, Sept. 18-22, 2017.
  11. Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Structure Stability Enhancement of Gold Micro-Cantilever with a Constrained at Top and Bottom of the Fixed-End," in Proc. 43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017), Braga, Portugal, Sept. 18-22, 2017.
  12. Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Effects of Bi-Layered Au/Ti Structure on Mechanical Properties of Micro-Cantilever Evaluated by Micro-Bending Test Toward Applications in MEMS Devices," in Proc. 43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017), Braga, Portugal, Sept. 18-22, 2017.
  13. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Enahnced Bending Strength of Electrodeposited Pure Gold Canrilevers in Micro-Bending Test," in Proc. 43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017), Braga, Portugal, Sept. 18-22, 2017.
  14. Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu, "A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes," in Proc. 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sendai International Center, Miyagi, Japan, Sept. 19-22, 2017.
  15. Ippei Tsuji, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu, "Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology," in Proc. 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sendai International Center, Miyagi, Japan, Sept. 19-22, 2017.
  16. Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu, "A Capacitive Sensor Circuit Based on Relaxation Oscillator for Sub-1mG MEMS Inertial Sensors," in Proc. 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sendai International Center, Miyagi, Japan, Sept. 19-22, 2017.
  17. Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Electrochemical Plating of Au-Cu Alloy Films for MEMS Sensor Applications," in Proc. RACI National Centenary Conference, Melbourne, Australia, July 23-28, 2017
  18. Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "FEM Simulation on Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Cantilevers with Various Dimensions for Applications as Movable Structures in MEMS Devices," in Proc. 21th International Conference on Solid State Ionics, SSI-21, Padua, Italy, June. 18-23, 2017.
  19. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Micro-Mechanical Property Evaluation of Electroplated Au-Cu Alloys toward Applications in MEMS Accelerometers," in Proc. 21th International Conference on Solid State Ionics, SSI-21, Padua, Italy, June. 18-23, 2017.
  20. Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Electroplated Au-based Materials with High Micro-mecchanical Properties as MEMS accelerometer Components," in Proc. 21th International Conference on Solid State Ionics, SSI-21, Padua, Italy, June. 18-23, 2017.
  21. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu, "Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology," in Proc. The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017), June 18-22, 2017, Kaohsiung Exhibition Center, Kaohsiung, Taiwan, pp. 2187-2190.
  22. Takuya Yamaguchi, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Hiroyuki Nakamoto, "A topology exploration and an optimization of planar inverted "F" antenna (PIFA) with Generic Algorithm," 2017 Thailand - Japan Microwave(TJMW2017), KMUTT Knowledge Exchange for Innovation Center (KX), King Mongkut's University of Technology Thonburi (KMUTT), Bangkok, Thailand, June 14-16, 2017.
  23. Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, "A High-Resolution Capacitive-Sensor Interface Based on a Relaxation Oscillator," 2017Thailand - Japan Microwave (TJMW2017), KMUTT Knowledge Exchange for Innovation Center (KX), King Mongkut's University of Technology Thonburi (KMUTT), Bangkok, Thailand, June 14-16, 2017.
  24. Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, "A High-Resolution Capacitive-Sensor Interface Based on a Relaxation Oscillator," 2017 Vietnam - Japan Microwave (VJMW 2017), Hanoi University of Science and Technology, Hanoi, Vietnam, June 13-14, 2017.
  25. Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer," in Proc. 21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry, Szeged, Hungary, April 23-26, 2017.
  26. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, and Kazuya Masu, "MEMS inertial sensors for biomedical applications," in Proc. 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017), UCLA Meyer & Renee Luskin Conference Center, Los Angeles, CA, USA, April 9-12, 2017. (invited)
  27. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Masato Sone and Kazuya Masu, "A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices," in Proc. 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017), UCLA Meyer & Renee Luskin Conference Center, Los Angeles, CA, USA, April 9-12, 2017, MoP2.6, pp. 264-267.

・Tutorial Papers

    N/A

・Domestic Conferences

  1. 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 「3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討」, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日−11月2日, 広島国際会議場, 広島県, 日本
  2. 折原 恒祐, 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討」 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [31am3-PLN-2].(Late News)
  3. 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,「静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2)」 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PLN-8].(Late News)
  4. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討」 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01pm1-A-6].
  5. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討」応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PM-11].
  6. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,「積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価」 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PM-12].
  7. 大西 脩平, 崔 容俊, 石田 誠, 澤田 和明, 石井 仁, 町田克之, 益 一哉, 二階堂 靖彦, 齋藤 光正, 吉田 眞一,「フォトゲート型蛍光センサを用いたレジオネラの蛍光観測」応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [02am2-B-4].
  8. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉, 「MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路」, 第9回 集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日−11月2日, 広島国際会議場, 広島県, 日本
  9. 伊藤 浩之, 廣部 祐樹, 道正 志郎, 石原 昇, 益 一哉, 「加速度センサを用いた顎・身体傾斜測定技術」, 第13回 直立歯科医学研究大会 2017年10月14日−10月15日, 東京大学, 東京, 日本
  10. 伊藤 浩之, 石原 昇, 鹿島 光司, 深水 克郎, 道正 志郎, 大場 隆之, 益 一哉, 「東京工業大学における農業プロジェクトの紹介」, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会 集積回路技術リテラシー研究会 2017年10月2日−10月3日, 東京工業大学, 横浜, 日本
  11. 伊藤 浩之, 石原 昇, 鹿島 光司, 深水 克郎, 大場 隆之, 益 一哉, 「植物のキモチセンシングを目指したアグリエレクトロニクスの研究」, 電子情報通信学会 ソサイエティ大会 2017年9月12日−9月15日, 東京都市大学, 東京, 日本
  12. 古賀 達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 「積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討」, 第9回 集積化MEMSシンポジウム, 2017年9月5日−9月8日, 広島国際会議場, 広島県, 日本
  13. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉, 「金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討」, 第78回 応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日−8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル[8p-PA2-13], 福岡県, 日本
  14. 古賀 達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 「積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討」, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, 2017年9月5日-8日, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡県, 日本
  15. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 「積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討」, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, 2017年9月5日-8日, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡県, 日本
  16. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉, 「MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路」, 第78回 応用物理学会 秋季学術講演会, 2017年9月5日-8日, 福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス, 福岡県, 日本
  17. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉, 「MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価」, 第8回 集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2017年7月26日, 香川大学 林町キャンパス 社会連携・知的財産センター棟 3F, 香川県, 日本
  18. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 「積層メタル技術を用いた高感度MEMS傾斜計の検討」, 第8回 集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2017年7月26日, 香川大学 林町キャンパス 社会連携・知的財産センター棟 3F, 香川県, 日本
  19. 高安 基大, 權田 惇晟, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 道正 志郎, 町田 克之, 益 一哉, 「人体振動測定のためのMEMS慣性センサを用いたモジュールの検討」, LSIとシステムのワークショップ2017, 2017年5月15日−2017年5月16日, 東京大学 生産技術研究所 コンベンションホール, 東京都, 日本

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