・Journals

  1. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, and Kazuya Masu,"A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing,"Sensors and Materials, (Accepted, Dec.10, 2018)
  2. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nasgoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Promoted bending strength in micro-cantilevers composed of nanograined gold toward MEMS applications," Microelectronic Engineering, vol.196, Sept. 2018, pp.20-24.
  3. Hao-Chun Tang, Ken Hashigata, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Sample size effect on micro-mechanical properties of gold electroplated with dense carbon dioxide," Elsevier Surface and Coatings Technology, vol.350, Sept. 2018, pp.1065-1070.

・International Conferences

  1. Daisuke Yamane, Shota Otobe, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu, "A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS," in Proc. 32nd IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), Seoul, Korea, Jan.27-31, 2019, pp.684-687.
  2. Daisuke Yamane, Hiroaki Honma, and Hiroshi Toshiyoshi, "A MEMS VIBRATORY ENERGY HARVESTER CHARGED BY AN OFF-CHIP ELECTRET," in Proc. 32nd IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), Seoul, Korea, Jan. 27-31, 2019, pp. 1025-1028.
  3. Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito and Kazuya Masu, "Sub-1mG MEMS Inertial Sensor for Biomedical Applications," in Proc. The 20th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium joined with the 4th International Conference on Nano Electronics Research and Education(ICNERE2018), Research Institute of Electronics, Shizuoka University, Japan, Nov. 27-29, 2018. (Invited)
  4. Shota Otobe, Tatsuya Koga, Ken Atsumi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Hiroyuki. Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida and Kazuya Masu, "A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes," in Proc. 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), November 13-16, 2018, Sapporo Park Hotel, Sapporo, Japan, 15P-7-121L.
  5. Shodai Morita, Ryo Umeoka, Taichi Taguchi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Chindanai Ratanaporncharoen, Miyuki Tabata, and Yuji Miyahara,“Low-Power Wireless Ir/IrOx pH Sensor Module using RF Backscattering”, The 3rd International Symposium on Biomedical Engineering, Poster 1-37, pp.136-137, Nov. 8, 2018.
  6. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,"Mechanical Characterization of Constant Current Electroplated Au-Cu Alloy Micro-Cantilever,"in Proc. IUMRS-ICA (19th International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia), Bali, Indonesia, Oct.31 - Nov.2, 2018.
  7. Ken Hashigata, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone,"Electrodeposition of Gold on Titanium and Bending Test of Au-Ti Bi-Layered Micro-Cantilever,"in Proc. IUMRS-ICA (19th International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia), Bali, Indonesia, Oct.31 - Nov.2, 2018.
  8. Hitomi Watanabe, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang,Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Effects of Ti/Au Layered Structure on Temperature Dependence of Micro-Cantilever Structure Stability," in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept.24-27, 2018.
  9. Takahiro Yamamoto, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang,Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Mechanical Property and Thermal Stability of Electrodeposited Au-Cu Alloys for Reliability of MEMS Devices," in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept.24-27, 2018.
  10. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Young’s Modulus of Ti/Au Micro-Cantilever by Resonance Frequency Method toward Au-Based MEMS Device," in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept.24-27, 2018.
  11. Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi,Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone, "High Strength Electrodeposited Gold/Copper Alloys for MEMS Devices," in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept.24-27, 2018.
  12. Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang,Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Mechanical Strength Enhancement of Ti/Au Layered Structure Evaluated by Micro-Bending Test," in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept.24-27, 2018.
  13. Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Electrodeposited Au-Cu Alloy with High Yield Stress Evaluated by Micro-Bending Test," in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept.24-27, 2018.
  14. Kyotaro Nitta, Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang,Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Cu-Alloying Effect on Structure Stability of Au Micro-Cantilever," in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept.24-27, 2018.
  15. Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Kyotaro Nitta,Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone, "Reliability Characteristics of Ti/Au Micro-Cantilever by Long-Term Vibration Test," in Proc. 44rd Micro and Nano Engineering (MNE2018), Copenhagen, Denmark, Sept.24-27, 2018.
  16. Tso-Fu Mark Chang, Hao-Chun Tang, Kyotaro Nitta, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone,"Electrodeposition of High Strength Au-Cu Alloys for MEMS Devices,"in Proc. 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018), The University of Tokyo, Tokyo, Japan, Sept. 9-13, 2018.
  17. Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, and Kazuya Masu, "High-Resolution MEMS Accelerometer by Multi-Layer Metal Technology," Taiwan-Japan-US Joint Workshop on Energy Materials and Sustainable Development, September 3-4, 2018, National Chiao Tung University (NCTU), Hsinchu, Taiwan.(invited)
  18. Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone and Yoshihiro Miyake, "CMOS-MEMS accelerometer with gold proof-mass and its application in diagnosis of Parkinsons Disease," 4th International Conference on Condensed Matter and Materials Physics, August 16-17, 2018, London, UK.(invited)
  19. Ken Hashigata, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone, "The effect of acid pre-treatment on electroplating of gold on titanium substrate,"in Proc. 32nd International Conference on Surface Modification Technologies (SMT32), June 27-29, 2018, Gipuzkoa Science and Technology Park, San Sebastian, Spain.
  20. Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida and Kazuya Masu "Tri-Axis Fully-Differential MEMS Accelerometer with Segmented Capacitance Detection," in Proc. Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 (APCOT 2018), June 24-27, 2018, HKUST, Hong Kong SAR
  21. Masato Sone, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu, "Characteristics of Electroplated Gold Material with Multilayer Metal Technology for CMOS-MEMS Accelerometer," Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan.(invited)
  22. Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Kyotaro Nitta, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,"Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever Evaluated by Long-Term Vibration Test," Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan.
  23. Chun-Yi Chen, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,"Ultra-high Strength in Electroplated Nanocrystalline Au-Cu Alloys Evaluated by Micro-Compression Tests for MEMS Devices," Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan.
  24. Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,"A Study on Effective Young's Modulus of Micro-Cantilevers Fabricated by Au Electroplating," Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan
  25. Kyotaro Nitta, Koichiro Tachibana, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, and Masato Sone,"Reliability Evaluation of Au-Cu Microcantilever by Long-Term Vibration Test toward MEMS Components," Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018), June 1-2, 2018 Fullon Hotel Taipei, Taiwan.
  26. Daisuke Yamane "High-Sensitivity MEMS Inertial Sensor for Medical Applications," The 2nd Taiwan-Japan Joint Symposium in Taiwan, Japan-Taiwan Young Researcher Mini-Workshop, May 31 - June 1, 2018, National Tsing Hua University (Hsinchu) and Fullon Hotel Taipei (Taipei), Taiwan.(invited)
  27. Kyoutarou Nitta, Koichiro Tachibana, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Structure Stability of Electrodeposited Au-Cu Alloy Micro-Cantilever Evaluated By Long-Term Vibration Test for Applications As Movable Components in MEMS Devices,"in Proc .233rd ECS Meeting, Seattle, WA, USA, May 13-17, 2018.
  28. Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida and Kazuya Masu,"Temperature Characteristics of MEMS Inertial Sensor Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology,"in Proc. 13th Annual IEEE International Conference on Nano-Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2018), Grand Hyatt Singapore, Singapore, April 21-26, 2018, WM-II-f_3_243.
  29. Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, "Pulse Current Electrodeposition of Ultrahigh Strength of Nanocrystalline Au-Cu Alloys,"in Proc. 22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry, Tokyo, Japan, April 15-18, 2018
  30. Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,"Electroplating of Gold on Titanium Substrate: Method to Deposit Defect-Free Film,"in Proc. 22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry, Tokyo, Japan, April 15-18, 2018.
  31. Yukiya Tohyama, Hiroaki Honma, Noboru Ishihara, Hidehiko Sekiya, Hiroshi Toshiyoshi, and Daisuke Yamane, "A Voltage-Boost Rectifier Circuit for Energy Harvesting from Environmental Vibrations," in Proc. 18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018), December 4-7, 2018, Daytona Beach, FL, USA, PT-11d

・Tutorial Papers

・Domestic Conferences

  1. Zixuan Li, Yifan Wang, Kaede Miyauchi, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, "Battery-less Wireless Sensor Module using RF Resonant Electromagnetic Coupling," 2019年電子情報通信学会総合大会, B-18 知的環境とセンサネットワーク, 2019年3月19日−22日, 早稲田大学 西早稲田キャンパス[B-18-22].
  2. 安藤幹, 大島佑太, 平川顕二, 岩瀬正幸, 小笠原宗博, 依田孝, 石原昇, 伊藤浩之 「CMOS論理回路におけるTIDの影響評価」 2019年電子情報通信学会総合大会, C-12 集積回路, 2019年3月19日−22日, 早稲田大学 西早稲田キャンパス[C-12-8].
  3. 大島佑太, 安藤幹, 平川顕二, 岩瀬正幸, 小笠原宗博, 依田孝, 石原昇, 伊藤浩之 「TID影響下におけるMOSFETの動的特性劣化モデルの開発」 第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, 2019年3月9日−12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス[10p-W934-9].
  4. 渥美 賢, 乙部 翔太, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉 「積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討」 第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日−12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-1]
  5. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉 「3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討」 第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日−12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-2]
  6. 渡邊 瞳, 鈴木 拓真, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人 「Ti/Au微小カンチレバーの温度依存性への積層構造の影響」 第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日−12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-3].
  7. 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉 「Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討」 第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日−12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-9].
  8. 鈴木 康介, Ken Hashigata, 浅野 啓介, Chun-Yi Chen, 名越 貴志, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人 「微小曲げ試験による金材料の機械的強度のサンプル形状効果」 第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日−12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-10].
  9. 新田 京太朗, Tang Haochun, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人 「電気めっき法によるAu-Cu合金微小カンチレバーの作製」 第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日−12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-11].
  10. 宮内楓,石原昇,伊藤浩之,「バックスキャッタリングによる低消費電力64QAM 無線送信回路の設計法の検討」, 電子情報通信学会技術研究報告, Vol. 118, No. 375, pp. 7-9, 2018.
  11. 宮本巧基,今中有介,石原昇,伊藤浩之,「Slope Boost技術を用いた弛張発振 型センサ回路」,電子情報通信学会技術研究報告, Vol. 118, No. 375, p. 89, 2018.
  12. 今中有介,石原昇,伊藤浩之,「 MEMS発振器における低消費電力協調設計手法 の検討」,電子情報通信学会技術研究報告, Vol. 118, No. 375, p. 95, 2018.
  13. 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ」 第10回集積化MEMSシンポジウム, 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[31pm1-C-4]
  14. 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討」第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(センサ・マイクロマシン部門大会), 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[01pm1-PLN-229]
  15. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討」第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(センサ・マイクロマシン部門大会), 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[30am3-PLN-89]
  16. 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人,「MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する研究」第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日−21日, 名古屋国際会議場 [18a-233-6].
  17. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「高分解能3軸シングルAu錘平行平板型MEMS加速度センサの検討」第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日−21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-5].
  18. 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「Au 錘厚膜化によるMEMS 加速度センサの高性能化の検討」 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日−21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-4].
  19. 折原 恒祐, 古賀 達也, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「MEMS加速度センサにおける時間ドメイン容量検出回路の統合設計モジュールの検討」第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日−21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-3].
  20. 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「分割電極型容量検出(SCD)方式を用いたAu錘3軸全差動MEMS加速度センサの検討」第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日−21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-2].
  21. 伊藤 浩之,鹿島 光司,深水 克郎,永野 風矢,大場 隆之「密閉型稲水耕栽培装置の試作と評価」農業環境工学関連学会2018年合同大会,2018年9月13日,愛媛大学[GS23-5].
  22. 石川 洋介,小原 崇義,紙透 航志,石原 昇,伊藤 浩之,「アナログパルス間隔変調技術を用いた22.0μW水位センサ回路」 電子情報通信学会ソサエティ大会,2018年9月11日ー13日,金沢大学 角間キャンパス
  23. 古賀 達也, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,「Au錘MEMS慣性センサモジュールの評価」平成30年電気学会E部門総合研究会, 奈良県文化会館, 2018年7月12日−13日, MSS-18-15, pp.12.
  24. 乙部 翔太, 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 町田 克之, 益 一哉,「シングルAu錘3軸差動MEMS加速度センサの検討」平成30年電気学会E部門総合研究会, 奈良県文化会館, 2018年7月12日−13日, MSS-18-17, pp.12.

・Conferences/Meetings without Abstract

  1. 伊藤 浩之,山根 大輔,小西 敏文,道正 志郎,石原 昇,町田 克之,曽根 正人,三宅 美博,益 一哉,「MEMS加速度センサと生体計測への応用」新化学技術推進協会 電子情報技術部会 マイクロナノシステムと材料・加工分科会 講演会2018年5月21日 (招待講演)
  2. 山根 大輔「次世代IoT社会に向けたMEMS振動発電素子」 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 システムデバイスロードマップ委員会 (SDRJ),第5回 BC(Beyond CMOS/ERM(Emerging Research Materials))合同委員会,2019年3月28日, 慶應義塾大学 矢上キャンパス(招待講演).

・Books

  1. Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Hiroyuki Ito: "Time-Domain Sensor Circuit Technology for MEMS Accelerometers" in Masato Sone and Kazuya Masu (Eds.) :" Novel Metal Electrodeposition and the Application toward MEMS Device" IntechOpen, London, UK. DOI: 10.5772/intechopen.81832

・Exhibitions

・Other